Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1-IS40E1

Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1
Kitano Seiki Co., Ltd.

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100.0%

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22.5Stunden

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Über dieses Produkt

■ZusammenfassungDie Ionenkanone 40E1 ist eine konvergente Ionenkanone, die eine zweistufige Austrittslinse verwendet. Die Spotgröße und die Beschleunigungsspannung (0,15 eV bis 5 keV) können mithilfe der zweistufigen Austrittslinse einfach geändert werden. In diesem Fall beträgt der Strahlstromwert 250 μA/cm2. Die Spitze der Ionenpistole ist auf 50° verjüngt, um Störungen mit anderen Produkten zu vermeiden.

Die Filamentmontageposition dieser Ionenkanone ist außerhalb der Achse des einfallenden Ionenstrahls zur Probenoberfläche ausgelegt, um eine Kontamination im Inneren der Pistole zu vermeiden. Das Ergebnis ist eine Ionenkanone, die eine lange Lebensdauer hat und keiner Einstellung bedarf. Yttriumbeschichtete Iridiumfilamente arbeiten bei niedrigeren Temperaturen als andere Kathoden.

Es ermöglicht auch die Einführung aktiver Gase wie Sauerstoff, Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe. Der Scanbereich beträgt 10 x 10 mm bei einem Arbeitsabstand von 23 mm und ermöglicht so ein gleichmäßiges Sputtern. Dies ermöglicht eine genaue Tiefenanalyse.

■Funktionen・Vollständiger Softwarebetrieb
・2-Stufen-Differenzialauspuff
・Kann auch für aktive Gase wie Sauerstoff, Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe verwendet werden
・Die Ionenpistole kann im Ultrahochvakuum betrieben werden
・Win-Massenfilter können installiert werden
・Der Durchmesser des Ionenstrahlflecks kann mithilfe einer zweistufigen Austrittslinse einfach angepasst werden

Modell
Es gibt 1 Modell für dieses Produkt.

Produkt
Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1

Verarbeitendes Unternehmen
Kitano Seiki Co., Ltd.

Kategorien

Fertigungs-/Baumaschine

Sputtering-Ausrüstung

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1 Modelle von Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Backtemperatur	Arbeitsabstand	Beschleunigungsspannung	Montageflansch	Mindestfleckgröße	Quellenlänge im Vakuum	Scanreichweite	Stromdichte
	IS40E1	Auf Anfrage erhältlich	250℃ oder weniger	23~100mm	0,15~5keV	DN40CF (Rotation)	0,6 mm	163 mm (Standard)	10×10mm am Muster	250μA/cm2

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