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Dünnschicht-Produktionsausrüstung 4-Element-Magnetron-Sputter-AusrüstungVerarbeitendes Unternehmen
Kitano Seiki Co., Ltd.Kategorien
| Bild | Teilenummer | Preis (ohne Steuern) | 3-Achsen-Manipulator R-Richtung | 3-Achsen-Manipulator Z-Richtung | Neigungsrichtung des 3-Achsen-Manipulators | AC100V | AC200V | Beispiel für Heizmaterial | Der Probenheizer hat die Temperatur erreicht | Beispiel einer Heizmethode | Methode des Hauptverschlussmechanismus | Motorsteuerung | unteren Flanschanschluss | Leckagemenge am unteren Flansch | Untere Flanschform | Material des unteren Flansches | Oberflächenbehandlung des unteren Flansches | Hochtemperaturbehandlung des unteren Flansches | Druckluft | Gestell | Leckagemenge des Flüssigstickstoffmantels | Mantelbehandlung mit flüssigem Stickstoff | Flüssigstickstoff-Umhüllungsmethode | Umhüllungsmaterial aus flüssigem Stickstoff | Bewegungsmechanismus des Filmdickensensors | Ultrahochvakuum-Kammeranschluss | Leckagemenge der Ultrahochvakuumkammer | Ultrahochvakuumkammer, ultimatives Vakuum | Ultrahochvakuumkammerform | Ultrahochvakuumkammermaterial | Oberflächenbehandlung in der Ultrahochvakuumkammer | Hochtemperaturbehandlung in der Ultrahochvakuumkammer |
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Ausrüstung zum quaternären Magnetronsputtern |
Auf Anfrage erhältlich |
360° (∞) (rotierende Plattform KMRP-114) Motorantrieb |
100-mm-Motorantrieb (vertikaler Mechanismus KUD-114/100Z). |
90° (vertikaler Mechanismus KUD-114/70SP) Motorantrieb |
Einphasig 30A |
Dreiphasig 20A |
Ta (Heizteil) Molybdän (Hauptkörper) |
Grundoberflächentemperatur Max. 1.200℃ |
Typ mit Klauenhalter |
Übertragungsstangenmethode (optional/Motorantrieb) |
Controller für Schrittmotor |
ICF-203, ICF-152, ICF-114, ICF-70 |
5×10^-11Pa・m3/Sek |
ICF-356/152×4/70×1 |
SUS316L |
Elektrolytisches Hochglanzpolieren aus Verbundwerkstoff |
Vakuumbacken bei 450℃ x 48 Stunden oder mehr |
5kg/cm2 |
Material: SS-Material/Einbrennlackierung (schwarz) |
5×10^-8Pa・m3/Sek |
Hochglanzpolieren, Wärmezyklusbehandlung (10 Mal) |
Speichertyp für flüssigen Stickstoff (verwendet 8/3″-Rohr) |
Edelstahl 316L |
Sensor: Quarzoszillator (optional) |
ICF-203, ICF-152, ICF-114, ICF-70 |
5×10^-11Pa・m3/Sek |
1×10^-11Torr oder weniger (bei Verwendung einer Flüssigstickstoff-Kühlung und einer Turbomolekularpumpe mit 300 l/s oder mehr oder einer Ionenpumpe mit 300 l/s oder mehr) |
ICF-356-N Spezial/203/152/114/70 |
SUS316L |
Elektrolytisches Hochglanzpolieren aus Verbundwerkstoff |
Vakuumbacken bei 450℃ x 48 Stunden oder mehr |
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