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Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1-IS40E1
Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1-Kitano Seiki Co., Ltd.

Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1
Kitano Seiki Co., Ltd.

Antwortstatus von Kitano Seiki Co., Ltd.

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4.5

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Die Ionenkanone 40E1 ist eine konvergente Ionenkanone, die eine zweistufige Austrittslinse verwendet. Die Spotgröße und die Beschleunigungsspannung (0,15 eV bis 5 keV) können mithilfe der zweistufigen Austrittslinse einfach geändert werden. In diesem Fall beträgt der Strahlstromwert 250 μA/cm2. Die Spitze der Ionenpistole ist auf 50° verjüngt, um Störungen mit anderen Produkten zu vermeiden. Die Filamentmontageposition dieser Ionenkanone ist außerhalb der Achse des einfallenden Ionenstrahls zur Probenoberfläche ausgelegt, um eine Kontamination im Inneren der Pistole zu vermeiden. Das Ergebnis ist eine Ionenkanone, die eine lange Lebensdauer hat und keiner Einstellung bedarf. Yttriumbeschichtete Iridiumfilamente arbeiten bei niedrigeren Temperaturen als andere Kathoden. Es ermöglicht auch die Einführung aktiver Gase wie Sauerstoff, Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe. Der Scanbereich beträgt 10 x 10 mm bei einem Arbeitsabstand von 23 mm und ermöglicht so ein gleichmäßiges Sputtern. Dies ermöglicht eine genaue Tiefenanalyse.

■Funktionen

・Vollständiger Softwarebetrieb ・2-Stufen-Differenzialauspuff ・Kann auch für aktive Gase wie Sauerstoff, Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe verwendet werden ・Die Ionenpistole kann im Ultrahochvakuum betrieben werden ・Win-Massenfilter können installiert werden ・Der Durchmesser des Ionenstrahlflecks kann mithilfe einer zweistufigen Austrittslinse einfach angepasst werden

  • Produkt

    Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1

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1 Modelle von Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Backtemperatur Arbeitsabstand Beschleunigungsspannung Montageflansch Mindestfleckgröße Quellenlänge im Vakuum Scanreichweite Stromdichte
Quellenscanner-Ionenkanone IS40E1-Part Number-IS40E1

IS40E1

Auf Anfrage erhältlich

250℃ oder weniger

23~100mm

0,15~5keV

DN40CF (Rotation)

0,6 mm

163 mm (Standard)

10×10mm am Muster

250μA/cm2

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