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Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1-EBV40A1
Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1-Kitano Seiki Co., Ltd.

Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1
Kitano Seiki Co., Ltd.

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100.0%

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19.6Stunden

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4.5

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

EBV40A1 ist ein Gerät, das zur Herstellung von Filmen aus mehreren Atomschichten oder als Dotierstoff für Mehrschichtfilme entwickelt wurde, die mit MBE-Geräten hergestellt werden. Durch die präzise Steuerung der Verdunstungsmenge bei gleichzeitiger Überwachung des Flusses ist es möglich, einen Film mit 1/10 Schicht pro Minute zu erzeugen. Darüber hinaus ist es durch die Verdampfung im Ultrahochvakuum möglich, Filme mit extrem hoher Reinheit zu züchten. Auch die Kontrolle der Verdunstungsmenge hat einen wirksamen Einfluss auf die Gleichmäßigkeit des erzeugten Films. Der Bereich der Filmbildung auf dem Substrat wird durch den Abstand zwischen der Quellenspitze und dem Substrat und die Größe der Düsenaustrittsöffnung bestimmt. Ein manueller Verschluss gehört zur Standardausrüstung, auf Wunsch können wir aber auch einen automatischen, motorbetriebenen Verschluss berücksichtigen.

■Funktionen

・Einfaches Design mit ICF70-Montageflansch (Außendurchmesser 70 mm) ・Kontrollieren Sie die Menge der Verdampfung des Materials, indem Sie den Fluss des Verdampfungsmaterials überwachen (Standardausrüstung). - Aufdampfmaterialien können ausgetauscht werden, ohne dass die Quelle der Elektronenstrahlverdampfungsausrüstung entfernt werden muss. ・Das Abscheidungsmaterial wird in den Fördermechanismus geladen und der größte Teil des Materials wird verbraucht (Standardausrüstung). ・Standardmäßig mit einem manuellen Verschluss ausgestattet, der die Dampfabscheidung sofort stoppt ・Eine gleichmäßige Dampfabscheidung auf dem Substrat ist möglich, wenn die Düse an der Spitze der Quelle angebracht ist. ・Verschiedene Tiegel, abgestimmt auf Aufdampfmaterialien

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    Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1

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1 Modelle von Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Backtemperatur Arbeitsabstand Spitzenmontagedüse Kühlwassertemperatur Beschleunigungsspannung Montageflansch Ablagerungsgröße Quellenlänge im Vakuum Größe des Aufdampfmaterials (Stab). Heiztemperatur des Aufdampfmaterials
Quelle Mini-Elektronenstrahlverdampfer EBV40A1-Part Number-EBV40A1

EBV40A1

Auf Anfrage erhältlich

~250℃

25–75 m (geschätzter Arbeitsabstand 70–75 mm)

ID4 (Innendurchmesser 4 mm) ~ID19 (Innendurchmesser 19 mm)

0~100℃

0–1.500 eV (normale Arbeitsspannung: 600–800 eV)
Maximaler Emissionsstrom: 200 mA
Maximale Leistung: 300 W

DN40CF (Außendurchmesser 70 mm)

Durchmesser 5~20mm

Länge 212 mm, Durchmesser 34,8 mm

0,5 ~ 2,3 mm

160~2.300℃ (Bei Verwendung eines Molybdän-Steckers: 3.300℃)

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