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Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung-Große EB-Verdampfungsausrüstung
Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung-Kitano Seiki Co., Ltd.

Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Funktionen

Bei diesem Gerät handelt es sich um ein Gerät zur Metallverdampfung mit hohem Schmelzpunkt mittels Elektronenstrahl (EB). Dieses Gerät verwendet einen rotierenden/drehenden Planeten, um eine hohe Materialnutzungseffizienz und gute Filmeigenschaften zu erreichen. Darüber hinaus ist es durch die Installation eines Herdes (Tiegels) mit großer Kapazität und einer Elektronenkanone mit einer maximalen Leistung von 30 kW möglich, schnell Filme mit einer Dicke von mehreren hundert Mikrometern zu bilden. Darüber hinaus haben wir für die Filmdickenkontrolle eine hochpräzise Messung mithilfe eines Quarzoszillators mithilfe unserer proprietären Technologie erreicht, die für hohe Geschwindigkeiten/hohe Filmdicken geeignet ist.

■Gerätekonfiguration

・φ800 Hochvakuumkammer ・Elektronenkanone zur Abscheidung ・DP&RP-Abgaseinheit ・Kryokühler ・Kühlwasserzirkulationsgerät ・Gerätebedienfeld

  • Produkt

    Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung

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1 Modelle von Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) planetarisch Ultimatives Vakuum Heiztemperatur des Substrats Gerätesteuerung Elektronenkanone
Ausrüstung für die Dünnschichtproduktion. Ausrüstung für die Elektronenstrahlverdampfung. Große EB-Verdampfungsausrüstung-Part Number-Große EB-Verdampfungsausrüstung

Große EB-Verdampfungsausrüstung

Auf Anfrage erhältlich

Durch die Umlaufbahn während des Aufdampfens und die Drehung um die eigene Achse ist eine äußerst gleichmäßige Filmbildung möglich.

≦1,0E-5Pa

Max. 450 ℃

Ein vollautomatischer Betrieb ist 24 Stunden am Tag mit automatischer Entlüftung und automatischem Anlauf über eine SPS (speicherprogrammierbare Steuerung) möglich.

Maximale Leistung 30 kW (15 kW2A)

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