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Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor-Strahlflussmonitor
Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor-Kitano Seiki Co., Ltd.

Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor
Kitano Seiki Co., Ltd.

Antwortstatus von Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Der Strahlflussmonitor misst die Strahlintensität von Molekularstrahlen mithilfe kleiner B/A-Messgeräte als Sensoren. Wird in MBE-Geräten usw. verwendet. Ein kompaktes Design mit rotierender Einführungsstufe ermöglicht einen Montageflansch der Größe ICF-70.

■Funktionen

・Der Sensor verwendet ein Miniaturmessgerät von Canon Anelva, das sich in vielen Vakuumgeräten bewährt hat. ・Montageflansch ist ICF-70 ・Minimieren Sie die Kontamination des Sensors durch die Installation einer Schutzabdeckung ・Analogausgabe möglich ・Kann bis zu 200℃ gebacken werden ・Die Oberflächenbehandlung minimiert die Gasfreisetzung aus Komponententeilen ・Die Flussstärke kann einfach durch Drehen um 180℃ mithilfe eines Drehmechanismus gemessen werden.

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    Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor

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1 Modelle von Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Sensor Backtemperatur Montageflansch Drehwinkel Option
Ausrüstung zur Dünnschichtproduktion Strahlflussmonitor-Part Number-Strahlflussmonitor

Strahlflussmonitor

Auf Anfrage erhältlich

Miniatur-B-A-Spur

200℃ (ohne Steckerteil)

ICF-70 (mit Hahn)

±180℃

Auf- und Ab-Mechanismus

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