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Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung-UHV-kompatibles Lasermikroskopgerät
Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung-Kitano Seiki Co., Ltd.

Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Funktionen

Bei diesem Gerät handelt es sich um ein Beobachtungs- und Inspektionsgerät, das mithilfe eines Rasterlasermikroskops Änderungen im Verhalten von Proben in verschiedenen Umgebungen wie Vakuum, hohen Temperaturen und Gasatmosphären beobachtet. Da es mit einer Transferöffnung ausgestattet ist, ist es durch Anschluss an ein Filmbildungsgerät möglich, die Probe zu beobachten, ohne sie dem Film auszusetzen, nachdem dieser gebildet wurde. Die Auflösung des Mikroskops erreicht 0,3 μm und die Tiefenschärfe ist tief, sodass dreidimensionale Formen gemessen werden können.

■Konfiguration

・Scanning-Lasermikroskop ・UHV-Kammer mit Wasserkühlung ・TMP&RP-Abgaseinheit ・Manipulator mit Heizmechanismus ・Gasmischpanel (IN2-System OUT1-System)

  • Produkt

    Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung

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1 Modelle von Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Gasleitung Vergrößerung Ultimatives Vakuum Heiztemperatur des Substrats Sichtfeld Stichprobengröße
Analyse-/Beobachtungs-/Auswertungsausrüstung UHV-kompatible Lasermikroskopausrüstung-Part Number-UHV-kompatibles Lasermikroskopgerät

UHV-kompatibles Lasermikroskopgerät

Auf Anfrage erhältlich

1 gemischtes System

250~1.250×

≦1,0E-6Pa

Max. 500 ℃

1.150–230 μm

10mm

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