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Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13-TMC-13
Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13-Kitano Seiki Co., Ltd.

Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

TMC-13 ist ein Filmdickenmonitor, der mit Standard-6-MHz-Kristallresonatoren kompatibel ist. Es kann über das LCD-Touchpanel bedient werden und verfügt über ein einfaches und kompaktes Design. Dieses Produkt eignet sich für die einfache Metalldampfabscheidung für Forschung und Entwicklung. Sie können aus vier Schnittstellentypen wählen und dieses Produkt ermöglicht auch die Steuerung des Verschlusses.

■Funktionen

・Kann 6 Quarzeinheiten überwachen und steuern ・Einfache Bedienung über das 6,5-Zoll-LCD-Touchpanel ・Einfaches und kompaktes Design ・Ermöglicht die Eingabe von zwei Vakuummessgeräten ・Zwei 1,6-Bit-Analogausgänge für Filmbildungsrate und Filmdicke gehören zur Standardausrüstung. - Kompatibel mit Standard-6-MHz-Kristallresonatoren ・Im Internet verfügbare Einheiten ・Kompatibel mit der Rapid SE-Software und den LabView-Bibliotheken

  • Produkt

    Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13

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1 Modelle von Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Schnittstelle Verschluss Frequenz Frequenzgenauigkeit Filmbildungszeit Auflösung der Filmabscheidungszeit Filmdicke Auflösung der Filmdicke
Abscheidungsregler für die Verdampfung TMC-13-Part Number-TMC-13

TMC-13

Auf Anfrage erhältlich

USB
RS232/485
Ethernet
Bluetooth

Manuell, Zeit, Filmstärke

2~6 MHz

0,1Hz

0~9.999 Å/s

0,1 Å/s

0~9.999.000 Å

0,1 Å

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