Quelle UVS40A2
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■ZusammenfassungUVS40A2 ist ein UV-Generator, der mit verschiedenen Gasen (Helium, Neon, Krypton, Argon, Wasserstoff) kompatibel ist. Die Entladung der UV-Quelle erfolgt im Kaltkathoden-Kapillarbereich. Um einen Abfall der UV-Leistung zu vermeiden, ist der Raum zwischen Entladungsbereich und Target fensterlos (gerade Rohrform) und die UV-Leistung elektrisch stabilisiert.

Darüber hinaus ist die UV-Lampe wassergekühlt, um eine hohe Leistung zu erzielen. Der UV-Strahlungswinkel kann mithilfe des an der UV-Quelle angebrachten Port-Aligners innerhalb von ±4° eingestellt werden. Ausgestattet mit einer Verriegelung, um im Notfall Unfälle zu vermeiden.

■Funktionen・Der Innendurchmesser und die Länge der Lichtkapillare können je nach Experiment ausgewählt werden.
・Die Lichtkapillare wird in ein Edelstahlrohr eingesetzt und ist sicher geschützt.
・Das zweistufige Differentialpumpsystem hält die Vakuummesskammer sauber und auf einem hohen Vakuumniveau

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Produkt
Quelle UVS40A2

Verarbeitendes Unternehmen
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Lichtquelle

UV-Lichtquellen

Fertigungs-/Baumaschine

Sputtering-Ausrüstung

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Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	HeⅠ/HeⅡ-Intensitätsverhältnis	Backtemperatur	Arbeitsabstand	Montageflansch	Quellenlänge im Vakuum	Ausbreitung ultravioletter Strahlen
	UVS40A2	Auf Anfrage erhältlich	1:2	150℃ oder weniger	27~50mm	DN40CF	220 mm (Standard)	<1°

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