Organische Gasphasenabscheidungszelle KOD-Cell-KOD-Zelle

Organische Gasphasenabscheidungszelle KOD-Cell
Kitano Seiki Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

Bei diesem Produkt handelt es sich um eine Niedertemperaturzelle (Organic Deposition Cell: KOD-Cell), die bei niedrigen Temperaturen stabil arbeiten kann, um dünne Filme aus Materialien mit hohem Dampfdruck (organische Materialien) zu züchten. KOD-Cell verfügt durch die Verwendung einer indirekten Heizmethode über eine hervorragende Temperaturreaktion und Temperaturstabilität.

■Funktionen・Das Fassungsvermögen des Tiegels ist mit 1 cm³ gering, was ein breites Anwendungsspektrum und eine einfache Verwendung ermöglicht.
- Es werden sorgfältig ausgewählte Materialien verwendet und die einfache Struktur erleichtert die Wartung.
・Verwendet Mantelheizmaterial, um eine gleichmäßige Temperatur aufrechtzuerhalten
・Ausgestattet mit einem Verschlussmechanismus, sodass die Dampfabscheidung angepasst werden kann.
- Extrem leicht, daher einfach anzubringen und zu entfernen
・Der Verbindungsflansch ist ein Dichtungstyp, kann jedoch frei angepasst werden.
・Organische Materialien können durch einfaches Einlegen in einen Ultraschallreiniger entfernt werden.

■Anwendungen・Wachstum dünner Filme aus Materialien mit hohem Dampfdruck
・Wachstum organischer Dünnfilme
・Wachstum dünner Metallfilme (für die Niedertemperaturabscheidung)

Modell
Es gibt 1 Modell für dieses Produkt.

Produkt
Organische Gasphasenabscheidungszelle KOD-Cell

Verarbeitendes Unternehmen
Kitano Seiki Co., Ltd.

Kategorien

Fertigungs-/Baumaschine

Vakuumbeschichtungsgeräte

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1 Modelle von Organische Gasphasenabscheidungszelle KOD-Cell

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Abstand zwischen TSs	Überschreitungswert	Verschlussmechanismus	Heizung	Tiegelkapazität	Tiegelmaterial	Kühlmethode	Heizungskontrolltemperatur	Anschlussflansch	Maximal stabile Betriebstemperatur	Materialeffizienz	Temperaturstabilität	Thermoelement	Ablagerungsrate	Verteilung in der Ebene
	KOD-Zelle	€ 3,216.00〜	Die empfohlene Länge vom Substrat bis zur Verdunstungsquelle beträgt 250 mm	0,2℃ oder weniger	Manueller Typ/Pneumatischer Typ (optional)	Manteltyp	1cc	Shapal, hochdichter Kohlenstoff, Aluminiumoxid, Quarzglas, AlN	Mit Wasserkühlmantel (SUS1/4-Zoll-Rohr)	100℃~500℃	ICF-70FH	500℃	Mit 0,2 g Material kann ein 50-nm-Film mehr als fünfmal mit einer Geschwindigkeit von 1 Å/s abgeschieden werden	±0,2℃	K-Typ (C/A)	0,01 Å/s sind problemlos möglich (Inficon-Filmdickenmessgerät wird empfohlen)	Organischer Film: ±2,5 %

Bild

Teilenummer

Preis (ohne Steuern)

Abstand zwischen TSs

Überschreitungswert

Verschlussmechanismus

Heizung

Tiegelkapazität

Tiegelmaterial

Kühlmethode

Heizungskontrolltemperatur

Anschlussflansch

Maximal stabile Betriebstemperatur

Materialeffizienz

Temperaturstabilität

Thermoelement

Ablagerungsrate

Verteilung in der Ebene

KOD-Zelle

€ 3,216.00〜

Die empfohlene Länge vom Substrat bis zur Verdunstungsquelle beträgt 250 mm

0,2℃ oder weniger

Manueller Typ/Pneumatischer Typ (optional)

Manteltyp

1cc

Shapal, hochdichter Kohlenstoff, Aluminiumoxid, Quarzglas, AlN

Mit Wasserkühlmantel (SUS1/4-Zoll-Rohr)

100℃~500℃

ICF-70FH

500℃

Mit 0,2 g Material kann ein 50-nm-Film mehr als fünfmal mit einer Geschwindigkeit von 1 Å/s abgeschieden werden

±0,2℃

K-Typ (C/A)

0,01 Å/s sind problemlos möglich (Inficon-Filmdickenmessgerät wird empfohlen)

Organischer Film: ±2,5 %

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