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Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1-KVD-OLED Evo.1
Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1-Kitano Seiki Co., Ltd.

Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1
Kitano Seiki Co., Ltd.

Antwortstatus von Kitano Seiki Co., Ltd.

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100.0%

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Über dieses Produkt

■Anwendungen

・Entwicklung organischer EL-Materialien ・Entwicklung von Polymermaterialien ・Phosphoreszierende Materialentwicklung ・Entwicklung organischer Dünnschichtsolarzellen ・Entwicklung organischer elektronischer Geräte usw.

■Funktionen

・Maske und Probe können mit dem Transportmechanismus transportiert werden - Organische und metallische Materialien können im selben Raum deponiert werden ・Mögliche gemeinsame Verdampfung organischer Materialien und metallischer Materialien ・Co-Verdampfung organischer Materialien ist möglich (bis zu 4 Elemente) ・Standardmäßig mit einem Wasserkühlmantel ausgestattet, um eine Kontamination zwischen organischen Materialien und Metallmaterialien zu verhindern ・In der Abscheidungskammer können Substrat und Maske einzeln in einer Vakuumumgebung ausgetauscht werden. ・Minimaler Abstand zwischen Substrat und Maske ・Flachheit der Filmdickenverteilung in der Ebene innerhalb von ±5 % aufgrund des Rotationsmechanismus des Substrats ・Organische Abscheidungszellen verfügen über eine ausgezeichnete Richtwirkung und eine geringere Materialkontamination innerhalb der Abscheidungskammer. ・Jede Bearbeitungskammer verfügt über eine spezielle Oberflächenbehandlung, um schnell den Betriebsvakuumumgebungsdruck zu erreichen. ・Kann an das Handschuhfach angeschlossen werden ・Automatische Förderung und automatische Absaugung sind mit SPS-Steuerung möglich. ・Im Einführungsraum können Standard-5-Substrate und Maskenhalter vorrätig sein.

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    Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1

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1 Modelle von Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Handschuhfachanschluss Eingangsleistung Enddruck (Pa) Boardgröße (Zoll) Anzahl der Einführungsraumlager (Stufen) Ablagerungsraum (Anzahl der Räume) Mitablagerung organischer Materialien Vakuum-Abgassystem Verfahren zur Kühlung eines Filmdickensensors Anzahl der installierten Filmdickensensoren (Basis) Filmdickenauflösung (Å/s) automatischer Auspuff Substraterwärmung beim Aufdampfen Aufdampfquelle (Original) Einbauraum nur für Gerät (mm) Verteilung in der Ebene (%)
Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien KVD-OLED Evo.1-Part Number-KVD-OLED Evo.1

KVD-OLED Evo.1

Auf Anfrage erhältlich

Ja (optional)

3φ200V75A

Ablagerungsraum + Sonstiges: 10^-6 Einheiten
Einführungsraum: 10

2

5

Organometallisch häufig: 1

Möglich (Dope-Mischungsverhältnis 0,1–30 Gew.-% bei Wirt 1 Å/s unter Verwendung einer einzigartigen Kontrollmethode)

Filmbildungskammer: Kryopumpe
Einführungskammer: Trockenpumpe
Trockenpumpe (Vorvakuumpumpe)

Wasserkühlung (kann mittels Kühler auf 0,01℃ geregelt werden)

Organometallisch häufig: 4

0,0057 Å/s (mit INFICON CYGNUS)

Ja (optional)

Ja (optional)

Bio: 6
Metall:3

2.600×1.200

Organischer Film innerhalb von ±3 % bei 50 mm
Metallfilm innerhalb von ±5 %

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