Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte. Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien. KVD-OLED Evo.Cluster
Kitano Seiki Co., Ltd.

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22.5Stunden

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Über dieses Produkt

■Anwendungen・Entwicklung organischer EL-Materialien
・Entwicklung von Polymermaterialien
・Phosphoreszierende Materialentwicklung
・Entwicklung organischer Dünnschichtsolarzellen
・Entwicklung organischer elektronischer Geräte usw.

■Funktionen・Der Transport von Masken und Proben ist mit einem 3-Achsen-Robotermechanismus möglich
・Ausgestattet mit einem Substrathalter-Vakuumversiegelungsmechanismus im Transferraum (optional)
・Co-Verdampfung organischer Materialien ist möglich (bis zu 4 Elemente)
・8 Arten organischer Materialien können im selben Raum vorbereitet werden
・Ausgestattet mit zwei organischen Ablagerungsräumen, sodass 16 organische Ablagerungsquellen installiert werden können.
・Standardmäßig mit einem Wasserkühlmantel ausgestattet, um eine Kontamination zwischen organischen Materialien und Metallmaterialien zu verhindern
・Substrate und Masken können einzeln in einer Vakuumumgebung in der Abscheidungskammer ausgetauscht werden
・Minimaler Abstand zwischen Substrat und Maske
・Flachheit der Filmdickenverteilung in der Ebene innerhalb von ±5 % aufgrund des Rotationsmechanismus des Substrats
・Organische Abscheidungszellen verfügen über eine ausgezeichnete Richtwirkung und eine geringere Materialkontamination innerhalb der Abscheidungskammer.
・Jede Bearbeitungskammer verfügt über eine spezielle Oberflächenbehandlung, um schnell den Betriebsvakuumumgebungsdruck zu erreichen.
・Kann an ein Handschuhfach angeschlossen werden
・Eine Reinigung des Plasmasubstrats ist im Vorverarbeitungsraum möglich
・6 Standardsubstrate und Maskenhalter können im Einführungsraum vorrätig sein
・Automatische Förderung, automatische Absaugung und automatische Ablagerung sind mit SPS-Steuerung möglich.

Modell
Es gibt 1 Modell für dieses Produkt.

Produkt
Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte. Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien. KVD-OLED Evo.Cluster

Verarbeitendes Unternehmen
Kitano Seiki Co., Ltd.

Kategorien

Herstellung von Halbleitern

Ausrüstung für die Halbleiterherstellung

Fertigungs-/Baumaschine

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1 Modelle von Ausrüstung zur Herstellung organischer EL-Prototypengeräte. Filmabscheidungsausrüstung für die Entwicklung organischer Materialien. KVD-OLED Evo.Cluster

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Handschuhfachanschluss	Eingangsleistung	Enddruck (Pa)	Vorbehandlungskammer (Kammer)	Boardgröße (Zoll)	Anzahl der Einführungsraumlager (Stufen)	Ablagerungsraum (Anzahl der Räume)	Mitablagerung organischer Materialien	Vakuum-Abgassystem	Verfahren zur Kühlung eines Filmdickensensors	Anzahl der installierten Filmdickensensoren (Basis)	Filmdickenauflösung (Å/s)	automatische Entlüftung	automatischer Auspuff	Automatischer Transport	automatische Ablagerung	Substraterwärmung beim Aufdampfen	Aufdampfquelle (Original)	Einbauraum nur für Gerät (mm)	Verteilung in der Ebene (%)
	KVD-OLED Evo.Cluster	Auf Anfrage erhältlich	Ja (optional)	3φ200V200A	Ablagerungsraum + Sonstiges: 10^-6 Einheiten Einführungsraum: 10^-5 Einheiten	1 (Plasmareinigung)	2	12	Bio: 2 Metall: 1	Möglich (Dope-Mischungsverhältnis 0,1–30 Gew.-% bei Wirt 1 Å/s unter Verwendung einer einzigartigen Kontrollmethode)	Filmbildungskammer: Kryopumpe Vorbehandlungskammer: Turbomolekularpumpe Einführungskammer: Turbomolekularpumpe Trockenpumpe (Vorvakuumpumpe)	Wasserkühlung (kann mittels Kühler auf 0,01℃ geregelt werden)	Bio:8 Metall: 2	0,0057 Å/s (mit INFICON CYGNUS)	Standardausrüstung	Standardausrüstung	Standardausrüstung	Standardausrüstung	Ja (optional)	Bio: 8×2 Metall: 5	2.000×2.000	Organischer Film innerhalb von ±3 % bei 50 mm Metallfilm innerhalb von ±5 %

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