Koaxialer konfokaler Liniensensor Gocator4020-Gocator4020

Koaxialer konfokaler Liniensensor Gocator4020
Links Inc.

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Über dieses Produkt

Dieser konfokale 3D-Liniensensor misst Höhen präzise anhand der Wellenlängenspektren, die je nach Höhe unterschiedlich reflektiert werden. Durch die koaxiale Aufnahme senkrecht von oben erfasst er hochauflösende 3D-Daten ohne tote Winkel.

■Merkmale・Koaxialer konfokaler 3D-Liniensensor für ultrapräzise und schnelle Messungen
・3D-Scan transparenter Objekte und glänzender Metalloberflächen

■Koaxiales optisches Design ohne tote WinkelDank des koaxialen optischen Designs mit Scan senkrecht von oben lassen sich selbst bei stark zerklüfteten Formen wie tiefen Nuten oder Vorsprüngen hochauflösende 3D-Daten erfassen. Auch steile Flanken mit einer Neigung von bis zu ±85 Grad werden in hoher Qualität gescannt.

■Auch glänzende, spiegelnde und transparente Oberflächen messbarOberflächen, die unterschiedliche Materialien kombinieren – etwa glänzend-spiegelnde, transparente/transluzente oder weiche, poröse Oberflächen –, werden stabil erfasst. Anwendungsbeispiele sind die Formmessung von Glas, die Prüfung der Auftragsmenge von transparentem Klebstoff und die Vermessung von Dicing-Gräben auf glänzenden Waferoberflächen.

■MessprinzipDie konfokalen Liniensensoren der Gocator4000-Serie erfassen 3D-Formdaten, indem sie an jedem der 1.920 Punkte die Höhe präzise messen.
・Das von der Lichtquelle ausgesandte Weißlicht wird beim Durchgang durch eine spezielle Linse in ein kontinuierliches Spektrum aus Tausenden von Wellenlängen zerlegt.
・Befindet sich die Objektoberfläche innerhalb dieses Spektralbereichs, wird Licht einer einzigen Wellenlänge an der Oberfläche reflektiert und fällt auf den Bildsensor. Unmittelbar vor dem Bildsensor befindet sich eine Lochblende als Filter, sodass nur das in der Fokushöhe reflektierte Licht passiert und vom Spektrometer erfasst wird.
・Durch Analyse der Wellenlänge des erfassten Lichts lässt sich die exakte Höhe der Objektoberfläche bestimmen.

■Gocator4020・Koaxialer konfokaler 3D-Liniensensor für ultrapräzise und schnelle Messungen
・3D-Scan transparenter Objekte und glänzender Metalloberflächen
・Ultrapräzise Messung mit einer X-Auflösung von 2,6 μm und einer Z-Auflösung von 0,50 μm

Modell
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Produkt
Koaxialer konfokaler Liniensensor Gocator4020

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Links Inc.

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1 Modelle von Koaxialer konfokaler Liniensensor Gocator4020

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Abstand bis Messbereichsanfang (CD) (mm)	Scanrate (Hz)	Datenpunkte/Profil	Lagertemperatur	Eingangsspannung	Betriebstemperatur	Außenabmessungen (mm)	Messbereich (MR) (mm)	Wiederholgenauigkeit Z (µm)	Sichtfeldbreite (FOV) (mm)	Auflösung X (mm)	Gewicht (kg)	Schutzart
	Gocator4020	Auf Anfrage erhältlich	27,8 ±0,2	4.500 Hz bis über 10 kHz (max.)	1.920	-30 bis 70 °C	+24 bis +48 V DC (77 W); Welligkeit ±5 %	15 bis 35 °C	183 x 82 x 428	2,5	0,25	5,0	0,0026	9,6	IP50