Weißlichtinterferometrie-Flächenkamera heliInspect für hochpräzise 3D-Formmessung-heliInspect H8 / H8M

Weißlichtinterferometrie-Flächenkamera heliInspect für hochpräzise 3D-Formmessung
Links Inc.

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Über dieses Produkt

Diese 3D-Flächensensorkamera arbeitet mit der Weißlichtinterferometrie, dem genauesten berührungslosen Messprinzip.
Ein eigenentwickelter CMOS-Sensor, bei dem jedes einzelne Sensorelement anspruchsvolle Rechenoperationen ausführen kann, ermöglicht berührungslose 3D-Messungen mit hoher Präzision und Geschwindigkeit.
Pro Aufnahme erfolgt in wenigen hundert Millisekunden eine 3D-Messung im Nanometerbereich. So lassen sich Messungen auf dem Niveau von Mikroskopen oder taktilen Messgeräten für die Inline-Prüfung nutzen.

■Merkmale・Berührungslose, hochpräzise Messung
heliInspect ist ein 3D-Sensor auf Basis der Weißlichtinterferometrie, der hochpräzise Messungen im Submikrometerbereich ermöglicht. Die H8-Serie misst Höhen mit einer Genauigkeit von einigen zehn Nanometern.

・Schnelle 3D-Messung
3D-Messungen im Nanometerbereich sind in rund 0,5 Sekunden pro Aufnahme möglich. Da der Sensor die Daten mit sehr hoher Geschwindigkeit direkt im Sensorelement verarbeitet, wird die Messzeit drastisch verkürzt – bei unveränderter Genauigkeit eines Weißlichtinterferometers.

・Vielseitige Einsatzmöglichkeiten
Auch transparente Flüssigkeitsoberflächen, Glas und hochreflektierende, spiegelnde Oberflächen, die mit herkömmlicher Bildverarbeitung nur schwer zu erfassen sind, lassen sich präzise messen. Das System eignet sich für zahlreiche Anwendungsbereiche wie die Formprüfung von Lotkugeln, die Koplanaritätsprüfung, die Prüfung der Oberflächenform von Linsen und die Schichtdickenmessung.

・Kompakt und einfach zu integrieren
Bei heliInspect sind Hochgeschwindigkeitssensor, Lichtquelle und Optik in einem kompakten Modul zusammengefasst. Dank robuster Bauweise und einfacher Installation lässt sich das System unkompliziert für verschiedenste Aufgaben einsetzen, von Forschung und Entwicklung bis zur Inline-Vollprüfung.

Modell
Es gibt 4 Modelle für dieses Produkt.

Produkt
Weißlichtinterferometrie-Flächenkamera heliInspect für hochpräzise 3D-Formmessung

Verarbeitendes Unternehmen
Links Inc.

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4 Modelle von Weißlichtinterferometrie-Flächenkamera heliInspect für hochpräzise 3D-Formmessung

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Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Arbeitsabstand (WD) (mm)	Auflösung des Z-Tisch-Encoders	Software	Objektivvergrößerung	Gehäuseabmessungen	Laterale Auflösung (µm)	Sichtfeld (mm)
heliInspect H8 / H8M	Auf Anfrage erhältlich	2 (Nikon); 3,4 (Nikon) / 2,5 (Leica); 4,7 (Nikon) / 3,6 (Leica); 7,4 (Nikon) / 3,6 (Leica); 12,8; 42,9; 43	20 nm (Standardmodell), 1 nm (Hochpräzisionsmodell)	SDK zur Systemintegration (HALCON, C++, LabView, Python)	100x, 50x, 20x, 10x, 8x, 4x, 2x	H 254 mm x B 100 mm x T 58 mm	・H8: 0,24; 0,48; 1,2; 2,4; 3; 6; 12 ・H8M: 0,12; 0,24; 0,6; 1,2; 1,5; 3; 6	0,13 x 0,12; 0,26 x 0,25; 0,65 x 0,61; 1,3 x 1,2; 1,6 x 1,5; 3,2 x 3,1; 6,5 x 6,1
heliInspect H9 / H9M	Auf Anfrage erhältlich	・Typ S: 49, 49, 51, 51, 51, 51 ・Typ L: 110, 113, 113, 113	100 nm	SDK zur Systemintegration (HALCON, C++, LabView, Python)	3x; 2x; 1,5x; 1x; 0,8x; 0,5x	・Typ S: H 300 mm x B 216 mm x T 116 mm (mit externem Z-Tisch) ・Typ L: H 342 mm x B 221 mm x T 116 mm (mit externem Z-Tisch)	・H9: 0,24; 0,48; 1,2; 2,4; 3; 6; 12 ・H9M: 4; 6; 8; 12; 15; 24	4,10 x 4,35; 6,14 x 6,53; 8,19 x 8,70; 12,29 x 13,06; 15,36 x 16,32; 24,58 x 26,11
heliInspect H6	Auf Anfrage erhältlich	2,52; 3,57; 3,57; 14,1; 55,8; 56,6	100 nm	SDK zur Systemintegration (HALCON, C++, LabView, Python)	-	H 147 mm x B 75 mm x T 45 mm	0,8; 2; 4; 5; 10; 20	0,22 x 0,23; 0,56 x 0,58; 1,12 x 1,17; 1,4 x 1,45; 2,8 x 2,9; 5,6 x 5,8
heliInspect H4	Auf Anfrage erhältlich	16,0	100 nm	SDK zur Systemintegration (HALCON, C++, LabView, Python)	-	H 197 mm x B 90 mm x T 48 mm	40	11,2 x 11,7