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Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen-Arios Co., Ltd.

Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Um einen gleichmäßigen Film auf der Oberfläche der Probe zu bilden, legt dieses Gerät die Probe in einen trommelförmigen Probenhalter und führt die Filmbildung unter Rotation durch. Durch Rühren der Probe durch Drehen des Probenhalters wird eine Agglomeration verhindert und eine gleichmäßige und effiziente Sputterfilmbildung ermöglicht.

■Funktionen

・Standardmäßig mit einer speziellen rechteckigen Kathodeneinheit mit einer Targetgröße von 150 mm x 50 mm ausgestattet. ・Wir haben verschiedene Sicherheitsmaßnahmen ergriffen, wie z. B. Verriegelungen für die Hochspannungsversorgung und den Motorantrieb. ・DC 1.200 W (Standard), HF-Spezifikationen sind ebenfalls verfügbar. -Der Entladungsstatus kann von der Frontklappe aus überprüft werden. ・Die Rotationsgeschwindigkeit des Probenhalters kann im Bereich von 0–20 U/min eingestellt werden. ・Der Probenhalter kann mit der darin befindlichen Probe angebracht und entfernt werden, sodass die Probe nach der Filmbildung leicht entnommen werden kann.

■Optionen

・Probenrührblatt (abnehmbare Struktur) ・Verschlusseinheit (zwischen Ziel und Probenhalter) ・RF-kompatibel

■Kundenspezifische Spezifikationen

・Kathodendiversifizierung ・Automatischer Probeneingabe- und Sammelmechanismus

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    Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen

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1 Modelle von Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Gleichstromausgang der Kathodeneinheit Zielabmessungen der Kathodeneinheit Kühlmethode für die Kathodeneinheit Hauptausrüstung an Bord Enddruck Abscheidungskammer Abgasanlage (Beispiel) Größe/Form des Probenhalters Probenhalter Haltermaterial Verarbeitungskapazität des Probenhalters Rotationsmechanismus des Probenhalters
Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen-Part Number-Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen

Trommel-Sputter-Ausrüstung zur Bildung von Partikeloberflächenfilmen

Auf Anfrage erhältlich

MAX 1kV・1,2A (1.200W) variabel

50mm×150mm×t5mm (magnetisches Material ist t1mm)

Wasserkühlung (Durchflussmesser mit Kontakten)

Rechteckige Magnetron-Kathodeneinheit
Probenhalter

5×10^-4Pa oder weniger (wenn die Kammer leer ist)

φ360mm×L350mm (Innenmaß) / SUS304
JIS350-Lukenmechanismus

Turbomolekularpumpe (355L/s)
Rotationspumpe (203 l/min)
Kristallionenmessgerät, Membranvakuummessgerät

Trommelform (zylindrisch)
φ250mm×L180mm (Innenmaß)

SUS304

0,5/1 Charge (Probendurchmesser: φ0,5 mm)

Motorantrieb (0–20 U/min variabel)

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