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MBE-Ausrüstung-MBE-Ausrüstung
MBE-Ausrüstung-Arios Co., Ltd.

MBE-Ausrüstung
Arios Co., Ltd.

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100.0%

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2.7Stunden

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5.0

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Arios ist eine Berufsgruppe mit über 20 Jahren Erfahrung in der Herstellung von MBE-Geräten. Arios MBE-Geräte unterstützen Platinengrößen von 1 bis 6 Zoll und III-VI-Gruppen. Wir führen detaillierte Konstruktionen und Fertigungen gemäß den Kundenspezifikationen durch. Darüber hinaus fertigen wir alles im eigenen Haus, von Hauptteilen wie Molekularstrahlzellen, RHEED, BFM und Substratheizmechanismen bis hin zu Steuereinheiten. Dadurch ist es uns möglich, maßgeschneiderte Produkte mit kurzen Lieferzeiten und hoher Qualität herzustellen. Bei Fragen zu den MBE-Geräten, wie z. B. Wartung, Umbau etc., können Sie sich gerne an uns wenden.

■Funktionen

- Fähigkeit zur Filmbildung in einem sauberen Vakuum - Zusätzlich zur Ultrahochvakuumtechnologie von Arios erhitzen und entgasen wir die Hauptteile wie die Molekularstrahlzelle und den Substratheizmechanismus gründlich. ・Eine große Auswahl an Optionen – RHEED, BFM, radikale Quellen usw. ・Automatischer Betrieb von Absaugbetrieb und Prozessbetrieb – Der automatische Betrieb ist über das Touchpanel und den Sequenzer möglich. ・Komfortables Transportsystem – Kann den Trolley-Transport und den Transfertransport unterstützen. Auch ein automatischer Transport ist möglich.

■Aufsteckbare Komponenten

RHEED, Molekularstrahlzellen, Mikrowellen-Ionenquellen usw. werden alle von Arios hergestellt, sodass wir flexibel reagieren können.

  • Produkt

    MBE-Ausrüstung

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1 Modelle von MBE-Ausrüstung

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Molekularstrahlzelle Enddruck Rotationsheizmechanismus für das Substrat Abgasanlage Material Kammerkörper Material Balgteil Materialheizungsteil Material Mantel aus flüssigem Stickstoff Material Vakuumheizkabel Trockenstickstoff (zur atmosphärischen Freisetzung) Einphasiges Versorgungsnetz Versorgungseinrichtungen Druckluft (zur Ventilbetätigung) Flüssiger Stickstoff
MBE-Ausrüstung-Part Number-MBE-Ausrüstung

MBE-Ausrüstung

Auf Anfrage erhältlich

Standardinstallation von 4 bis 8 (φ114CF), 5 cm³ bis 100 cm³, Hochtemperatur bis Niedertemperatur verfügbar.

1×10^-8Pa oder weniger (wenn flüssiger Stickstoff in die Filmbildungskammer eingeführt wird)

Maximal 800℃ (Hochtemperaturspezifikation 1.000℃), verfügbar für 1" bis 6

Es können verschiedene Pumpen ausgewählt und kombiniert werden, darunter Ionenpumpen, Turbomolekularpumpen, TSP, Kryopumpen usw.

SUS 304 (oder 304L oder 316)

SUS 304

Mo und Ta, Al2 O3, Kohlenstoff

SUS 316L

Ag (Au, Ni, Al)

0,1 ~ 0,5 MPa

AC100V, dreiphasig: AC200V

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