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MBE-AusrüstungVerarbeitendes Unternehmen
Arios Co., Ltd.Kategorien
| Bild | Teilenummer | Preis (ohne Steuern) | Molekularstrahlzelle | Enddruck | Rotationsheizmechanismus für das Substrat | Abgasanlage | Material Kammerkörper | Material Balgteil | Materialheizungsteil | Material Mantel aus flüssigem Stickstoff | Material Vakuumheizkabel | Trockenstickstoff (zur atmosphärischen Freisetzung) | Einphasiges Versorgungsnetz | Versorgungseinrichtungen Druckluft (zur Ventilbetätigung) | Flüssiger Stickstoff |
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MBE-Ausrüstung |
Auf Anfrage erhältlich |
Standardinstallation von 4 bis 8 (φ114CF), 5 cm³ bis 100 cm³, Hochtemperatur bis Niedertemperatur verfügbar. |
1×10^-8Pa oder weniger (wenn flüssiger Stickstoff in die Filmbildungskammer eingeführt wird) |
Maximal 800℃ (Hochtemperaturspezifikation 1.000℃), verfügbar für 1" bis 6 |
Es können verschiedene Pumpen ausgewählt und kombiniert werden, darunter Ionenpumpen, Turbomolekularpumpen, TSP, Kryopumpen usw. |
SUS 304 (oder 304L oder 316) |
SUS 304 |
Mo und Ta, Al2 O3, Kohlenstoff |
SUS 316L |
Ag (Au, Ni, Al) |
0,1 ~ 0,5 MPa |
AC100V, dreiphasig: AC200V |
0,5 ~ 0,7 MPa |
0,05 MPa |
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