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Dieser Abschnitt bietet einen Überblick über Reinigungssysteme sowie ihre Anwendungen und Funktionsweisen. Werfen Sie auch einen Blick auf die Liste der 0 Hersteller von Reinigungssysteme und deren Firmenranking.
Ein Reinigungssystem ist ein Gerät, das chemische und physikalische Eigenschaften nutzt, um unerwünschte Substanzen von der Oberfläche von Materialien zu entfernen.
Sie werden bei der Herstellung von Präzisionsgeräten, Halbleitern und Displays eingesetzt. Werden Reinigungssysteme nicht ordnungsgemäß verwendet, kann es häufig zu fehlerhaften Produkten und Ausbeuten kommen!
Es gibt verschiedene Reinigungsmethoden wie Ultraschallreinigung, Spritzreinigung, Bürstenreinigung, Trockenreinigung und Reinigung mit Lösungsmitteln. Bei der Herstellung von Halbleitern gibt es mehr als 500 Fertigungsprozesse, von denen der Anteil der Reinigungsprozesse auf 30 bis 40 % geschätzt wird.
Beispiele für spezifische Anwendungen von Reinigungssystemen sind:
Die Auswahl der Reinigungssysteme erfolgt unter Berücksichtigung der Art der Verschmutzung, der Größe des Reinigungsziels, der Reinigungszeit und der Reinigungsgenauigkeit. Auch die Reinigungsmethode, das verwendete Reinigungsmittel und die Trocknungsmethode sind wichtig.
Bei Halbleiterprozessen besteht die Aufgabe der Reinigung darin, Verunreinigungen von den Wafern zu entfernen. Zu den Verunreinigungen gehören kleine, unsichtbare Ablagerungen, so genannte Partikel, organische Stoffe, die in menschlichem Schmutz und Schuppen enthalten sind, Öle und Fette wie Schweiß und Verunreinigungen durch in der Fabrik verwendete Metalle.
Reinigungssysteme spülen diese Verunreinigungen mit Lösungsmitteln oder reinem Wasser ab. Nach der Reinigung ist eine Trocknung erforderlich. Dies wird als Dry-in/Dry-out bezeichnet, und die Wafer werden immer getrocknet, bevor sie aus der Anlage genommen werden.
Zu den typischen Methoden der Reinigungssysteme gehören Ultraschallreinigung, Sprühreinigung, Bürstenreinigung, Trockenreinigung und Lösungsmittelreinigung.
Bei Ultraschall-Reinigungssystemen wird das zu reinigende Objekt in eine chemische Lösung getaucht und im Inneren mit Ultraschallwellen in Schwingungen versetzt. Die Stärke und die Frequenz der Schwingungen werden je nach dem zu reinigenden Objekt ausgewählt.
Reinigungssysteme sind ein Verfahren zur Reinigung von Gegenständen durch Versprühen von Gas oder Flüssigkeit aus einer Düse. Es gibt auch handgeführte Reinigungssysteme, die für die Reinigung großer Objekte verwendet werden können.
Bei Bürstenreinigungssystemen werden Bürsten verwendet, um Schmutz zu entfernen, der dann mit einer Lösung oder einer Sprühflasche abgewaschen wird. Da Bürsten als physikalische Reinigungsmethode eingesetzt werden, können sie schwer zu entfernende Verunreinigungen reinigen.
Trockene Reinigungssysteme bestrahlen das zu reinigende Objekt mit UV-Licht (Ultraviolett), wodurch Ozon und Aktivsauerstoff entstehen, die mit dem Aktivsauerstoff reagieren und die Verschmutzung entfernen. Sie werden hauptsächlich in der Halbleiter- und Displayherstellung eingesetzt.
Lösungsmittel-Reinigungssysteme lösen und entfernen Verunreinigungen, indem sie die Lösekraft von Lösungsmitteln nutzen. Es können extrem gefährliche Lösungsmittel verwendet werden, daher ist Vorsicht geboten.
Die Grundstruktur eines Reinigungssystems besteht aus einem Fördersystem, einem Behandlungstank, einem Reinwassertank und einer Trocknungsstufe. Das Transportsystem ist eine Vorrichtung zum Be- und Entladen von Gegenständen, und die Gegenstände werden im Aufbereitungstank gereinigt. Der Reinwassertank dient zum Abwaschen der am Objekt anhaftenden Chemikalien, während die Trocknungsstufe zum Trocknen des Objekts verwendet wird.
In der Regel kann nur eine Art von Verunreinigung mit einer Art von Behandlungsflüssigkeit gereinigt werden; sollen mehrere Arten von Verunreinigungen gereinigt werden, sind mehrere Behandlungsbehälter und Reinwassertanks erforderlich. Bei der Herstellung von Halbleitern werden mit Batch-Anlagen mehrere Wafer auf einmal bearbeitet, während mit Single-Wafer-Anlagen jeweils ein Wafer bearbeitet wird.
Bei Batch-Anlagen werden die Wafer zusammen in einem Gehäuse, dem so genannten Carrier, untergebracht, und jeder Carrier wird zur Reinigung in eine Verarbeitungsschicht gelegt. Single-Wafer-Anlagen führen eine Sprühreinigung durch, während die Wafer einzeln gedreht werden.
In Reinigungssystemen verwendete Reinigungsmittel:
Bei der Reinigung von Halbleitern werden verschiedene Prozesslösungen verwendet. Die Verunreinigungen, die mit jeder Behandlungslösung entfernt werden können, sind unterschiedlich. Auf jede Behandlung folgt eine Spülung mit reinem Wasser.
Abschließend werden die Wafer mit reinem Wasser gespült und einem Trocknungsprozess unterzogen.
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Aztec Co., Ltd.
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■Bei dieser Methode wird das Erntegut zwischen zwei rotierenden Ober- und Unterbürsten eingeführt, um es zu reinigen. Stecken Sie den Leitungswasse...
Aztec Co., Ltd.
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■Zusammenfassung Bei dieser Methode wird das Erntegut zwischen zwei rotierende Ober- und Unterbürsten eingeführt, um es zu reinigen. Stecken Sie de...
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■Motormontageset für T27 Der Motor für den Typ T-27 ist separat erhältlich und nicht im Lieferumfang enthalten. Beim Kauf dieses Artikels handelt e...
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■Funktionen ・Authentischer selbstansaugender Typ ・Wagentyp für bequemen Transport ・Variable Düse (Standardzubehör) ・Sie können zwischen Direkt-...
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■Funktionen ・Kompakt und leistungsstark bei einfacher Bedienung ・Einfache Struktur, die leicht zu reinigen ist ・Hygienisches und langlebiges Ede...
Aztec Co., Ltd.
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■Funktionen ・Kompakt und leistungsstark bei einfacher Bedienung ・Einfache Struktur, die leicht zu reinigen ist ・Hygienisches und langlebiges Ede...
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4.5 Company Review
■Zusammenfassung ・Einspritzdüse, deren Düsenwinkel und -abstand je nach Produkttyp und Arbeitseffizienz geändert werden können (Reinigung von SBM-...
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■Zusammenfassung ・Einspritzdüse, deren Düsenwinkel und -abstand je nach Produkttyp und Arbeitseffizienz geändert werden können (Reinigung von SBM-...
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■Bei dieser Methode wird das Erntegut zur Reinigung zwischen zwei rotierende Bürsten eingeführt, eine oben und eine unten. Stecken Sie den Leitungs...
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■Funktionen ・AY-2 wird mit einem vollständigen Modellwechsel hochgefahren. Dieses Modell ist PSE-zertifiziert und entspricht dem Feuerwehrgesetz. ...
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■Funktionen ・Klein, aber stark, Ihr leistungsstarker Helfer - Kompaktes Design, das in engen Räumen installiert werden kann ・Hervorragende Bedien...
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■Funktionen ・Reinigt schnell und automatisch das Fahrgestell von Baumaschinen und großen schweren Maschinen ・Epochenbrechendes Reinigungssystem ...
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■Funktionen ・Elektrische Warmwasserheizung, Kaltwasser-Hochdruckreiniger ・Wachs-Standardausrüstung ・Effizienter 5-kW-Warmwasserbereiter ・Fettfr...
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■Funktionen ・Vollautomatischer Gasreiniger für Autoklimaanlagen, den jeder problemlos bedienen kann. - Vollautomatischer Typ mit einfacher Bedienu...
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■Funktionen ・2WAY-Waschmaschine freigegeben. Ideal für die LKW- und SS-Industrie ・2WAY (W-Pumpe, Motor) ermöglicht eine optimale Reinigung Ihres ...
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■Funktionen - Ermöglicht eine mühsame Filterreinigung, ohne sich die Hände schmutzig zu machen. ・Entfernen Sie durch Betätigen des Hebels probleml...
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■Funktionen ・Versuchen Sie, diese spezielle Autowaschmaschine zu nutzen, um den Umsatz außerhalb von Öl zu steigern und Stammkunden zu gewinnen. ...
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■Funktionen ・Zuvor abgelassenes Wasser wird gereinigt und als Reinigungswasser verwendet. - Sparen Sie Geld bei den Wassergebühren für die Reinigu...
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■Funktionen - Großartig an Tankstellen. ・Ermöglicht die Fernsteuerung von Autowaschanlagen mit Tor usw. ■Anwendungen Tankstelle
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■Funktionen ・Die Reinigung von Automatten ist für Autowaschdienste unerlässlich ・Doppelhebel für einfache One-Touch-Bedienung ・Größere Breite fü...
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■Funktionen ・Solide Unterstützung für Autowascharbeiten ・Doppelhebel für einfache One-Touch-Bedienung ・Größere Breite für Automatten ・Leichtes ...
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■Funktionen ・Ideal für alle möglichen Situationen wie Tankstellen, Münzautowaschanlagen usw. ・Hervorragende Saugleistung ・Einfache Bedienung, di...
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■Funktionen - Kann an jedem Ort gereinigt werden, z. B. beim Reinigen des Innenraums eines Autos oder beim Reinigen des Bodens einer Fabrik. ・Einf...
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■Funktionen ・Sie können das Land relativ nah an seiner ursprünglichen Form belassen. ・Braches Land kann effektiv genutzt werden. ・Kunden werden ...
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■Funktionen ・Überlassen Sie uns die Reinigung und Desinfektion Ihres Fahrzeugs. - Wir haben die für grundlegende Desinfektionsarbeiten notwendige ...
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■Funktionen - Für die Installation vor Ort ist kein zusätzlicher Bauaufwand erforderlich. - Sofortiger Einbau, auch wenn im Notfall keine Zeit für ...
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■Funktionen ・Spezialbürste zum Reinigen von Stiefeln. ・Keine Stromversorgung erforderlich. ・Sie können den gesamten Teil Ihrer Stiefel, einschli...
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■Funktionen ・Entwickelt vom führenden Reinigungsmaschinenhersteller der Automobilindustrie ・Überwältigende Reinigungskraft + ultrakurze Reinigung...
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