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Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter-V8C
Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter-Seho Co., Ltd.

Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter
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Über dieses Produkt

■Funktionen

・Für den Druckaufnahmeteil wird Saphir verwendet. Hierbei handelt es sich um ein Membran-Vakuummessgerät, das durch den Einsatz der MEMS-Verarbeitungstechnologie eine verbesserte Ablagerungsbeständigkeit aufweist. ・Reduzierte Ausfallzeiten durch verbesserte Anti-Depot-Leistung ・Einsetzbar bis 250℃, kompatibel mit Hochtemperatur-Prozessgasen ・Reduzierung des Platzbedarfs durch Miniaturisierung

■Zusammenfassung

Das Saphirmembran-Vakuummessgerät Typ V8 verfügt über eine verbesserte Anti-Ablagerungsleistung mit einem Sensor, der MEMS-Verarbeitungstechnologie nutzt. Durch die Verwendung von einkristallinem Saphir, der eine hohe Korrosionsbeständigkeit, hohe Hitzebeständigkeit und hervorragende mechanische Eigenschaften aufweist, für den Druckaufnahmeteil erreicht der V8S eine maximale Betriebstemperatur von 250 °C.

■Reduzierte Ausfallzeiten durch verbesserte Anti-Depot-Leistung

Durch den Einsatz der MEMS-Verarbeitungstechnologie wurde der Verschiebungsgrad auf 1/10 verbessert.

■Stress-Balance-Struktur

Durch die Erhöhung der Dicke am Außenumfang des druckempfindlichen Teils und den Ausgleich des Spannungsgleichgewichts zwischen dem Außenumfang und der Mitte verringert sich die Wahrscheinlichkeit einer Verformung des druckempfindlichen Teils und die Nullpunktverschiebung wird verringert.

■Konkav/Konkav-Sensor

Durch die unebene Oberfläche des druckempfindlichen Teils wird der angebrachte Film geteilt und die Spannungswirkung von Ablagerungen verringert.

■Einsetzbar bis 250℃, kompatibel mit Hochtemperatur-Prozessgasen

Der V8S hat durch die Trennung der Leiterplatten- und Sensorteile und die Überprüfung der verwendeten Materialien eine maximale Betriebstemperatur von 250 °C erreicht.

■Reduzierung des Platzbedarfs durch Miniaturisierung

Die Platzeffizienz der Einbauteile wurde verbessert und das Volumen um 40 % reduziert. (Im Vergleich zu unserem herkömmlichen Produkt).

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    Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter

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Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter-Part Number-V8C

V8C

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Saphir-Kapazitätsmembran-Vakuummeter. Saphir-Membran-Vakuummeter-Part Number-V8S

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