Thermomikroskop TM3 zur Messung der thermischen Effusivität dünner Filme und mikroskopischer Bereiche-TM3

Thermomikroskop TM3 zur Messung der thermischen Effusivität dünner Filme und mikroskopischer Bereiche
Bethel Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Funktionen・Das Mikroskop für thermophysikalische Eigenschaften ist ein Gerät zur Messung der thermischen Effusivität, einem der thermophysikalischen Eigenschaftswerte.
・Dies ist ein Gerät, das die Messung der thermophysikalischen Eigenschaften von Proben an Punkten, Linien und Ebenen ermöglicht.
・Es ist möglich, die Verteilung thermophysikalischer Eigenschaftswerte im Mikrometerbereich zu messen, was mit herkömmlichen Geräten zur Messung thermophysikalischer Eigenschaften als schwierig galt.
・Dies ist das weltweit erste Gerät, das eine berührungslose, hochauflösende Messung thermophysikalischer Eigenschaften ermöglicht.
・Mit einem Detektionslichtfleckdurchmesser von 3 μm ist es möglich, thermophysikalische Eigenschaften in winzigen Bereichen (Punkt-, Linien- und Oberflächenmessungen) mit hoher Auflösung zu messen.
・Die Messung kann durch Ändern des Tiefenbereichs durchgeführt werden, sodass alles von dünnen Filmen und mehrschichtigen Filmen bis hin zu Massenmaterialien gemessen werden kann.
・Es können auch Proben auf Substraten gemessen werden.
・Berührungslose Messung mit Laserlicht.
- Kann Risse, Hohlräume und Ablösungen unter dünnen Filmen erkennen.

■Messprinzip des thermophysikalischen Eigenschaftsmikroskops (Übersicht)Auf der Probe wird ein dünner Metallfilm abgeschieden und mit einem Heizlaser periodisch erhitzt.

1. Das Reflexionsvermögen von Metall hat die Eigenschaft, sich abhängig von der Oberflächentemperatur zu ändern (Thermoreflexionsmethode). Daher messen wir die relative Temperaturänderung auf der Oberfläche, indem wir die Änderung der reflektierten Intensität des koaxial mit dem Heizlaser bestrahlten Detektionslasers erfassen.

2. Wärme breitet sich von der Metalldünnschicht zur Probe aus, was zu einer Phasenverzögerung in der Oberflächentemperaturreaktion führt. Diese Phasenverzögerung ändert sich abhängig von den thermischen Eigenschaften der Probe. Die thermische Effusivität wird durch Messung der Phasenverzögerung zwischen diesem Heizlicht und dem Detektionslicht bestimmt.

Modell
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Produkt
Thermomikroskop TM3 zur Messung der thermischen Effusivität dünner Filme und mikroskopischer Bereiche

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Bethel Co., Ltd.

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Beobachtungsgerät

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1 Modelle von Thermomikroskop TM3 zur Messung der thermischen Effusivität dünner Filme und mikroskopischer Bereiche

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	1-Punkt-Messung der Standardzeit	Bühnenwegdistanz	Betriebstemperaturbereich	Heizlaser	Außenmaße des Körpers	Körpergewicht	Durchmesser des Erkennungslichtflecks	Erkennungslaser	Standardzubehör	Messmodus	Zu messender dünner Film	Messobjekte	Wiederholbarkeit	Probe	Stromversorgung	Außenmaße des Stromkastens	Gewicht des Stromkastens	Option
	TM3	Auf Anfrage erhältlich	10 Sekunden	・X-Achsenrichtung 20 mm ・Y-Achsenrichtung 20 mm ・Z-Achsenrichtung 10 mm	24℃±1℃ (gemäß dem eingebauten Temperatursensor des Geräts)	Wellenlänge des Halbleiterlasers: 808 nm	730 (B) × 620 (T) × 560 (H) mm	80,0 kg	Ungefähr 3μm	Wellenlänge des Halbleiterlasers: 658 nm	Probenhalter, Referenzprobe	Messung der Verteilung der thermophysikalischen Eigenschaften (1-dimensional/2-dimensional/1 Punkt)	Dicke: Mehrere hundert nm bis mehrere zehn μm	Wärmeeffusivität (Wärmeleitfähigkeit) (Wärmeleitfähigkeit)	Die thermische Effusivität von Pyrex und Silikon beträgt weniger als ±10 %	1. Probenhalter 30 mm x 30 mm, Dicke 5 mm 2. Plattenprobe: 30 mm x 30 mm oder weniger, Dicke 3 mm oder weniger - Hochglanzpolieren der Probenoberfläche ist erforderlich. ・Auf der Probenoberfläche ist Mo-Sputtern erforderlich.	Wechselstrom 100 V 1,5 kVA	620 (B) × 480 (T) × 310 (H) mm	26,4 kg	Optische Oberflächenplatte, Klimaanlage, Klimakabine, Sputterausrüstung

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