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Automatische Erkennung von Kerb- und Fasenfehlern, Röntgentopographiegerät JV SENSUS-SENSUS CS
Automatische Erkennung von Kerb- und Fasenfehlern, Röntgentopographiegerät JV SENSUS-Bruker Japan Co., Ltd.

Automatische Erkennung von Kerb- und Fasenfehlern, Röntgentopographiegerät JV SENSUS
Bruker Japan Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Röntgentopographiegerät, das Kerb- und Fasenfehler automatisch erkennt

Bruker JV Sensus ist ein erstklassiges Röntgentopographiesystem. Mit der jüngsten Zunahme der Anzahl von Prozessen, die tiefe Grabenspannungen auf Siliziumsubstrate anwenden, ist die Notwendigkeit, unsichtbare Risse, die während des Prozesses entstehen, zu messen, stark gestiegen. Insbesondere in ungleichmäßigen Bereichen innerhalb des Wafers wie Kerben und Abschrägungen treten wahrscheinlich Defekte auf, die mithilfe der von diesem Gerät bereitgestellten Nullkantenausschlussmessung analysiert werden können. Da es Röntgenstrahlen verwendet, kann es auch dann gemessen werden, wenn ein Metallmuster vorhanden ist. Mit der Hochgeschwindigkeitsoption (600f) ist ein hoher Durchsatz von 24 WPH erreichbar.

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    Automatische Erkennung von Kerb- und Fasenfehlern, Röntgentopographiegerät JV SENSUS

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Automatische Erkennung von Kerb- und Fasenfehlern, Röntgentopographiegerät JV SENSUS-Part Number-SENSUS CS

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