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Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX-JV-DX
Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX-Bruker Japan Co., Ltd.

Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX
Bruker Japan Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse

Das Bruker JV-DX-Instrument ist das neueste Instrument, das alle in der Dünnschicht-Röntgenanalyse verwendeten Messtechniken vollständig automatisieren kann. Das optische Eingangssystem und das optische Empfangssystem sind vollständig automatisiert, sodass Messungen ohne Benutzereingriff automatisch zwischen Weitwinkel-XRD, hochauflösender XRD und Röntgenreflexion umgeschaltet werden können. Die Messungen sind innerhalb des Rezepts vollständig automatisiert und können von der qualitativen Analyse der Kristallphasen, der Polarpunktanalyse zur Untersuchung der Kristallorientierung, dem Einfall bei geringem Winkel (Dünnfilmmethode) zur Messung ultradünner Filme bis hin zur Messung der Filmdicke, Dichte und Rauheit mithilfe von XRR und der Messung der Zusammensetzung/Filmdicke mithilfe hochauflösender XRD reichen. Noch schwierigere Messungen können Sie durchführen, indem Sie den halbmanuellen Modus wählen. Der Probentisch unterstützt die vollflächige Abbildung von 300-mm-Wafern und kann auch mit einem automatischen Wafer-Transferroboter kombiniert werden.

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    Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX

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1 Modelle von Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX

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Vollautomatisches/Mehrzweck-XRD-Gerät für die Dünnschichtanalyse JV-DX-Part Number-JV-DX

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