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XRD-Ausrüstung zur Produktionskontrolle der Zusammensetzung und Filmdicke von Verbindungshalbleitern QC3 / QC-Velox-3DAFMQC3/QC-Velox
XRD-Ausrüstung zur Produktionskontrolle der Zusammensetzung und Filmdicke von Verbindungshalbleitern QC3 / QC-Velox-Bruker Japan Co., Ltd.

XRD-Ausrüstung zur Produktionskontrolle der Zusammensetzung und Filmdicke von Verbindungshalbleitern QC3 / QC-Velox
Bruker Japan Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■XRD-Ausrüstung zur Qualitätskontrolle von Verbindungshalbleitern

Das Bruker QC3/QC-Velox-Gerät ist speziell als industrielles XRD-Gerät konzipiert. Da der Probentisch flach platziert ist, besteht kein Grund zur Sorge, dass der Wafer herunterfällt, selbst wenn er leicht beschädigt werden könnte. Darüber hinaus ist es mit einem breiten XY-Tisch ausgestattet, der einen 300-mm-Wafer vollflächig abbilden kann, sodass eine Stapelverarbeitung mit einem Halter möglich ist, der mehrere Wafer gleichzeitig hält. Durch den Einsatz eines Hochgeschwindigkeits-Goniometers und eines Hochgeschwindigkeits-Achsenausrichtungsalgorithmus bietet es einen hohen Durchsatz, der mit der Forschungs-XRD nicht zu vergleichen ist. Die für die Analyse verwendete RADs-Software ist die am weitesten verbreitete Anpassungssoftware an Produktionsstandorten und eine leistungsstarke Analysesoftware, die individuell angepasst werden kann, sodass Analyse und Berichterstellung auch an Produktionsstandorten, an denen Forscher nicht eingreifen können, reibungslos durchgeführt werden können. Ein automatischer Wafer-Transferroboter (optional) kann ausgewählt werden, und weitere Arbeitseinsparungen an der Produktionslinie sind zu erwarten. Ingenieure können mehr Zeit für wichtigere Aufgaben als die Evaluierung aufwenden. Bei Auswahl des Hochgeschwindigkeits-XRR-Kanals (optional) ermöglicht die patentierte Fokussieroptik eine XRR-Messung und -Auswertung in Sekundenschnelle und macht so absolute Schichtdickenmessungen einfach. Ausgestattet mit einem eindimensionalen Hochgeschwindigkeitsdetektor (optional, QC-Velox-E) können reziproke Kartenmessungen, die herkömmlicherweise mehrere Stunden dauerten, schnell gemessen werden (von mehreren zehn Sekunden bis zu mehreren Minuten) und eine reziproke Kartensimulation und Anpassungsanalyse ermöglichen.

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3DAFMQC3/QC-Velox

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