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Fotomaske AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) InSight AFP PM-Insight AFP PM
Fotomaske AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) InSight AFP PM-Bruker Japan Co., Ltd.

Fotomaske AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) InSight AFP PM
Bruker Japan Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) für Fotomasken

Insight AFP PM ist ein vollautomatisches Rasterkraftmikroskop für Fotomasken. Die Grundfunktionen sind die gleichen wie bei Insight AFP, jedoch kann die Viskosität mithilfe des patentierten True Sense-Modus von Bruker gleichzeitig mit der Oberflächenform gemessen werden, wodurch leicht festgestellt werden kann, ob es sich bei Defekten auf der Maskenoberfläche um Ablagerungen oder Verarbeitungsfehler handelt. Es verfügt außerdem über eine Funktion zur Fehlerüberprüfung, die Informationen zur Fehlerposition vom Oberflächendefekt-Inspektionsgerät als KLARF-Datei erhält und automatisch eine AFM-Messung durchführt.

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    Fotomaske AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) InSight AFP PM

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1 Modelle von Fotomaske AutoAFM (vollautomatisches Rasterkraftmikroskop) InSight AFP PM

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Insight AFP PM

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