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300 mm kompatibles vollautomatisches Weißlicht-Interferenzmikroskop Contour GTX-ARM-Kontur GT-X ARM
300 mm kompatibles vollautomatisches Weißlicht-Interferenzmikroskop Contour GTX-ARM-Bruker Japan Co., Ltd.

300 mm kompatibles vollautomatisches Weißlicht-Interferenzmikroskop Contour GTX-ARM
Bruker Japan Co., Ltd.

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■Vollautomatisches Weiß-Interferenz-Messsystem für 300-mm-Wafer

Optische Interferenzmikroskop-EFEM-Handlerlösung für vollautomatische Messungen in der Produktionskontrolle. Es unterstützt bis zu 300 mm große Wafer und liefert 3D-Parameter mit hohem Durchsatz mithilfe der Weißlicht-Interferometrie-Technologie von Bruker. Kompatibel mit den Optionen FFU, Ionisator, Einzel-/Doppellader und SECS-GEM.

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1 Modelle von 300 mm kompatibles vollautomatisches Weißlicht-Interferenzmikroskop Contour GTX-ARM

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