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CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP-TriboLab CMP
CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP-Bruker Japan Co., Ltd.

CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP
Bruker Japan Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■CMP-Prozess-/Materialeigenschaften-Bewertungssystem

TriboLab CMP basiert auf dem äußerst robusten Reibungs- und Verschleißtester UMT TriboLab von Bruker und bietet eine Hochleistungsbewertung für die CMP-Prozessentwicklung (Chemical Mechanical Polishing). Zur Bewertung von Verbrauchsmaterialien wie Pads und Schlämmen, die im CMP-Prozess verwendet werden, ist es möglich, einen weiten Bereich von Polierdrücken (0,05 bis 50 psi) und Rotationsgeschwindigkeiten (1 bis 500 U/min), Reibungskoeffizienten, AE-Signal (akustische Emission), Probentemperatur usw. zu messen. Das Prozess- und Materialbewertungssystem TriboLab CMP von Bruker ermöglicht die Reproduktion einer zuverlässigen, kostengünstigen Tischumgebung für den chemischen Polierprozess von Wafern.

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    CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP

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1 Modelle von CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP

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CMP-Prozess-/Materialcharakterisierungsmaschine TriboLab CMP-Part Number-TriboLab CMP

TriboLab CMP

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