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Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE-3660
Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE-Cofrock Co., Ltd.

Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE
Cofrock Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Kompatibel mit einem breiten Durchflussbereich (von F.S.10SCCM bis F.S.100SLM bei N2-Umwandlung)

  • Produkt

    Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE

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1 Modelle von Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Er leckte die Kiste Sensormethode Ventilmethode Volle Durchflussrate (N2-Umwandlung) Maximaler Eingangsdruck Reproduzierbarkeit Kontrollbereich Betriebsdifferenzdruck Zielgas Reaktionsfähigkeit Erforderliche Stromversorgung Gaskontaktmaterial Durchfluss-Ausgangssignal Signal zur Durchflussmengeneinstellung Temperaturkoeffizient Genauigkeit Fitting (Körperdurchmesser) Druckfestigkeit Zulässige Lagertemperatur Zulässige Umgebungstemperatur Zulässige Umgebungsfeuchtigkeit Gewicht elektrische Anschlüsse
Ausrüstung zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung Standard-Massendurchflussregler MODELL 3660 SERIE-Part Number-3660

3660

Auf Anfrage erhältlich

1×10^-8Pa・m3/s oder weniger

Thermo-Drahtsensor

Proportional-Magnetventil (stromlos geschlossen)

10SCCM~20SLM

500 kPa (G)

±0,5 % v.E.

2~100 % F.S.

F.S.≦5SLM 50~300kPa, F.S.>5SLM 100~300kPa

N2, Luft, H2, He, Ar, O2, CO2 usw.

Innerhalb von 2 Sekunden (innerhalb von ±2 % F.S.)

+15 VDC (±5 %) 100 mA, -15 VDC (±5 %) 250 mA

SUS316L, SUS316, magnetischer Edelstahl, FKM (Option NBR oder CR)

0~5 VDC (Lastwiderstand 250 kΩ oder mehr)

0~5 VDC (Eingangsimpedanz 1 MΩ oder mehr)

±0,1 % FS/℃ (15~35 ℃)

±1 % FS (25 ℃)

Standard: 1/4SWL
Optionen: 1/8SWL, 1/4VCR, Rc1/4 (9/16-18UNF)

1MPa (G)

-10~60℃

5~45℃

10–90 % relative Luftfeuchtigkeit (keine Kondensation)

Ungefähr 1.000 g

D-Sub 9-poliger KFC-Standard (SEMI-Standard-konform)

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