Geräte zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung PI-Massendurchflussregler MODELL ST-500-SERIE-ST-500 (100SCCM~10SLM)

Geräte zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung PI-Massendurchflussregler MODELL ST-500-SERIE
Cofrock Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung・PI… Druckunempfindlich: Eine stabile Durchflussregelung ist bei Druckschwankungen möglich.
・MFC mit Metalldichtung und Membranventil, kompatibel mit korrosiven Flüssigkeiten durch EP-Behandlung und Oxidfilmbehandlung.
・DeviceNet®, EtherCAT®-Kommunikation kompatibel
・Kompatibel mit IGS W-Dichtungsverbindungen
・Hochpräzise Messsteuerung mit S.P.-Genauigkeit, Reaktion im gesamten Durchflussregelbereich innerhalb von 1 Sekunde
・Mehrbereichsfunktion mit spezieller App (30~110 % F.S.)

■PI-FunktionHerkömmliche Massendurchflussregler haben das Problem, dass sie auf Druckschwankungen auf der Versorgungsseite überreagieren, was zu einer instabilen Regelung, wie z. B. plötzlich auftretenden großen Durchflussstörungen, führt. ST-500 ist ein Massendurchflussregler, der mit einer neuen PI-Funktion (PI...Pressure Insensitive) ausgestattet ist, die dieses Problem löst.

Vor dem Durchflusssensor ist ein Drucksensor installiert. Durch den Vergleich der vom Drucksensor erfassten Druckschwankung mit dem Druck vor der Schwankung und die Korrektur der Ventilöffnung in Echtzeit ist es möglich, eine stabile Durchflussregelung gegen Druckschwankungen durchzuführen. Geeignet für Gasversorgungsprozesse, die Stabilität und Genauigkeit erfordern, wie z. B. Anlagen zur Halbleiterfertigung.

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Geräte zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung PI-Massendurchflussregler MODELL ST-500-SERIE

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Massendurchflussregler

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1 Modelle von Geräte zur Steuerung der Flüssigkeitsmessung PI-Massendurchflussregler MODELL ST-500-SERIE

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Er leckte die Kiste	PI-Funktion	Sensormethode	digitale Schnittstelle	Ventilmethode	Volle Durchflussrate (N2-Umwandlung)	Maximaler Eingangsdruck	Reproduzierbarkeit	Kontrollbereich	Betriebsdifferenzdruck	Zielflüssigkeit	Reaktionsfähigkeit	Erforderliche Stromversorgung	Gaskontaktmaterial	Genauigkeit	Genauigkeit garantiert Temperatur	Fugen-/Flächenabmessungen	Druckfestigkeit	Zulässige Lagertemperatur	Zulässige Umgebungstemperatur	Zulässige Umgebungsfeuchtigkeit	Gewicht
	ST-500 (100SCCM~10SLM)	Auf Anfrage erhältlich	1×10^-11Pa・m3/s oder weniger	Überschreitung ±2 % F.S.	Thermo-Drahtsensor	DeviceNet®/EtherCAT®	Proportional-Magnetventil (stromlos geschlossen)	100SCCM~10SLM	300 kPa (G)	±0,2 % v.E.	2~100 % F.S.	50~300 kPa	Gas	Innerhalb von 1 Sek	11~25 VDC (max. 5 VA)	SUS316L, PTFE, Au, Co-Ni	±1 % S.P. (10 ~ 100 % F.S.) ±0,1 % F.S. (2~10 % F.S.)	15~40℃	1,125 Zoll breite Dichtung 92 mm Entspricht einem 1/4-Zoll-Videorecorder	1MPa (G)	0~60℃	5~50℃	0~80 % RH (keine Kondensation)	Ungefähr 1.000 g

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■PI-Funktion

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