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Bildgebendes Ellipsometer EllipsoStep-EllipsoStep
Bildgebendes Ellipsometer EllipsoStep-Optoscience Co., Ltd.

Bildgebendes Ellipsometer EllipsoStep
Optoscience Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

Hierbei handelt es sich um ein mikroskopisches Abbildungsellipsometer. Es ist möglich, den Brechungsindex (n und k) und die Dicke dünner Filme an jedem Punkt im Bild in einem viel kleineren Bereich als mit einem normalen Ellipsometer zu messen.

■Zusammenfassung

Dieses System misst das Ellipsometriebild (Ψ, ⊿) der erfassten Probe in etwa 4 Sekunden und kann den Brechungsindex und die Dicke dünner Filme in winzigen Bereichen messen. Mit der integrierten optischen Einheit können Sie Proben im Wellenlängenbereich von 250 nm bis 1.000 nm messen. Mit EllipsoStep können Sie die Ellipsometrie (ellipsometrische Eigenschaften) Ihrer Probe Pixel für Pixel schnell und direkt messen, und das mit einer lateralen Auflösung von weniger als 1 µm. Durch die Anzeige mikroskopischer Bilder von Proben in Echtzeit und deren Verwendung in Kombination mit erweiterten Analysefunktionen können Eigenschaften wie Dünnschichtdicke und Brechungsindex mit hoher Auflösung gemessen werden. Anwendung

■Halbleiterbezogen

In der Halbleiterindustrie ist die Ellipsometrie ein Industriestandardinstrument. Bildgebende Ellipsometer mit Mikrobildgebung können Proben mit höherer Präzision messen und ermöglichen so eine noch umfassendere Produktentwicklung als je zuvor.

■LCD/OLED-Display

Sowohl LCD- als auch OLED-Displays verwenden Dünnschichttechnologie. Es kann auf neue Produktentwicklungs- und Herstellungsprozesse angewendet werden.

■Polymer

Polymerfilme werden häufig in Dünnfilmstrukturen in der Displayindustrie verwendet und können mit EllipsoStep charakterisiert werden.

■Solarzellen

Alternative Energie ist ein riesiger aufstrebender Markt und die Ellipsometrie ist ein wichtiges Werkzeug bei der Entwicklung von Solarzellen der nächsten Generation.

■Graphen

Das Interesse an der Entwicklung neuer Materialien und neuer Technologien, beispielsweise 2D-Materialien wie Graphen, ist sehr groß. Die bildgebende Ellipsometrie ist ein sehr wichtiges Instrument zur Etablierung neuer Prozesse.

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    Bildgebendes Ellipsometer EllipsoStep

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