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Großes Ellipsometersystem-Optoscience Co., Ltd.

Großes Ellipsometersystem
Optoscience Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

Das Ellipsometersystem von Axmetrics ist in der Lage, die Dicke, den Brechungsindex, die Anisotropie und die Ausrichtung dünner Filme auf Glas schnell zu messen.

■Zusammenfassung

Das mit AxoScan ausgestattete Ellipsometersystem führt die Analyse nach Erfassung der vollständigen Mueller-Matrix durch und ermöglicht so die Bewertung der Eigenschaften anisotroper Dünnfilme, die bisher nicht möglich waren. Dieses System ist so konstruiert, dass es den gängigen Werksspezifikationen des Kunden entspricht, einschließlich der Verriegelung mit externen Geräten. Kompatibel mit Mutterglas der 4. bis 8. Generation.

■VVRM-System

Hierbei handelt es sich um ein mit AxoScan ausgestattetes Ellipsometersystem, das die Dicke dünner Filme auf großen Glassubstraten messen kann. Da AxoScan die gesamte Müller-Matrix misst, eignet sich das System besonders zur Messung anisotroper dünner Filme, die mit herkömmlichen Ellipsometern nur schwer zu messen sind. Es ist besonders nützlich für die Messung der Ausrichtungsrichtung, der relativen Anisotropie, der Dicke und des Brechungsindex von geriebenem oder fotoausgerichtetem PI (Polyimid), das als Ausrichtungsschichten in LCD-Panels verwendet wird.

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