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XYZ-Bühne-XYZ70114-50
XYZ-Bühne-Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Dabei handelt es sich um einen hohlen XYZ-Tisch, bei dem der Versatz jedes Achsenzentrums und der Abstand zwischen den beiden Flanschen variiert werden können. Der Unterschied zum einfachen XY-Mechanismus (SXY-Serie) besteht darin, dass er mit einem Mikrometer ausgestattet ist, was eine präzise Positionseinstellung ermöglicht. Der 3-Achsen-Bewegungsmechanismus eignet sich ideal zum Anpassen der Position von Probenhaltern, Probenheizmechanismen, verschiedenen Einführbestecken und anderen Komponenten.

■Funktionen

- Backen ist aufgrund der Spezifikation des Ganzmetalldichtungs-Konflachflansches möglich. ・Ideal für verschiedene Ultrahochvakuumgeräte wie MBE-Geräte und Oberflächenanalysegeräte. - Kompatibel mit φ70CF bis φ203CF. - Die X-Y-Bewegung ist eine Präzisionsbewegung mit einem Mikrometerkopf und Kreuzrollenlagern. ・Mehrachsige Bewegungen können durch die Kombination mit einer Übertragungsstange, einer Rotationseinführungsmaschine, einer linearen Einführungsmaschine usw. in das Vakuum übertragen werden.

■Optionen

-SD MitutoyoTM Digitalwaage

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    XYZ-Bühne

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1 Modelle von XYZ-Bühne

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Hubmenge Hubmenge (z) Flansch 1 Flansch 2 Balginnendurchmesser Backtemperatur Leckmenge Minimaler Innendurchmesser Material
XYZ-Bühne-Part Number-XYZ70114-50

XYZ70114-50

Auf Anfrage erhältlich

X-Y jeweils ±10mm

50mm

φ70

φ114

φ50

Maximal 200℃

6,7×10^-11 Pa・m^3/s oder weniger

φ38mm

Balgteil – SUS 316, andere – SUS 304

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