XYZ-Bühne
Arios Co., Ltd.

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5.0

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Über dieses Produkt

■ZusammenfassungDabei handelt es sich um einen hohlen XYZ-Tisch, bei dem der Versatz jedes Achsenzentrums und der Abstand zwischen den beiden Flanschen variiert werden können. Der Unterschied zum einfachen XY-Mechanismus (SXY-Serie) besteht darin, dass er mit einem Mikrometer ausgestattet ist, was eine präzise Positionseinstellung ermöglicht. Der 3-Achsen-Bewegungsmechanismus eignet sich ideal zum Anpassen der Position von Probenhaltern, Probenheizmechanismen, verschiedenen Einführbestecken und anderen Komponenten.

■Funktionen- Backen ist aufgrund der Spezifikation des Ganzmetalldichtungs-Konflachflansches möglich.
・Ideal für verschiedene Ultrahochvakuumgeräte wie MBE-Geräte und Oberflächenanalysegeräte.
- Kompatibel mit φ70CF bis φ203CF.
- Die X-Y-Bewegung ist eine Präzisionsbewegung mit einem Mikrometerkopf und Kreuzrollenlagern.
・Mehrachsige Bewegungen können durch die Kombination mit einer Übertragungsstange, einer Rotationseinführungsmaschine, einer linearen Einführungsmaschine usw. in das Vakuum übertragen werden.

■Optionen-SD MitutoyoTM Digitalwaage

Modell
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Produkt
XYZ-Bühne

Verarbeitendes Unternehmen
Arios Co., Ltd.

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XZY-Bühnen

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1 Modelle von XYZ-Bühne

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Hubmenge	Hubmenge (z)	Flansch 1	Flansch 2	Balginnendurchmesser	Backtemperatur	Leckmenge	Minimaler Innendurchmesser	Material
	XYZ70114-50	Auf Anfrage erhältlich	X-Y jeweils ±10mm	50mm	φ70	φ114	φ50	Maximal 200℃	6,7×10^-11 Pa・m^3/s oder weniger	φ38mm	Balgteil – SUS 316, andere – SUS 304

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