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Ladeluke ED-Serie-ED 114V
Ladeluke ED-Serie-Arios Co., Ltd.

Ladeluke ED-Serie
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Bei der ED-Serie handelt es sich um eine Ladeschleusentür zur Einführung von Proben usw. in ein Vakuumsystem. Hierbei handelt es sich um einen offenen Deckel, der zum Einsetzen oder Entfernen von Gegenständen aus dem Vakuumbehälter verwendet wird, während dieser zur Atmosphäre hin geöffnet ist, oder zum Einführen Ihrer Hände oder Vorrichtungen zum Einstellen des Geräts, z. B. zum Anbringen einer Probe am Vakuumbehälter. Dieses Gerät erfordert kein Werkzeug und wird mit einem manuellen Knopf befestigt. Wenn Sie nicht über dieses Gerät verfügen, müssen Sie den Flansch mit einem Werkzeug öffnen, was zeitaufwändig ist und einen Austausch der Dichtung erfordert. Da jedoch ein O-Ring verwendet wird, kann das Endvakuum niedriger sein als bei Flanschen mit Metalldichtungen. Die Verwendung in der Abscheidungskammer von Molekularstrahlepitaxiegeräten (MBE) wird nicht empfohlen. In diesem Fall empfehlen wir die Nutzung eines Schleusenraumes zur Probenentnahme.

■Funktionen

- Kleines und leichtes Design ermöglicht die Installation überall. - Kompatibel mit Hochvakuum durch Fluorkautschuk-Dichtung. ・Kann bis zu 150℃ gebacken werden. ・Kann direkt an φ114 bis φ305CF angebracht werden. - Es stehen verschiedene Größen mit und ohne Fenster zur Verfügung, optional sind Fenstermaterialien wie Quarzglas wählbar. ・Wir können auch JIS-Flansche und spezielle Flanschformen herstellen.

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    Ladeluke ED-Serie

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1 Modelle von Ladeluke ED-Serie

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Dichtungsmaterial Flansch Leckmenge Effektiver Durchmesser (mm) Fenstermaterial Zulässige Heiztemperatur Masse (g) Öffnungsdurchmesser (mm)
Ladeluke ED-Serie-Part Number-ED 114V

ED 114V

Auf Anfrage erhältlich

Fluorkautschuk (Luken, Fenster)

φ114CF

1,3×10^-8 Pa・m^3/s oder weniger

φ30

TempaxTM (Standardprodukt), Quarz (optional)

Maximal 150℃

1060

φ64

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