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Sichtfensterverschluss SF-Serie-SF70
Sichtfensterverschluss SF-Serie-Arios Co., Ltd.

Sichtfensterverschluss SF-Serie
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Verhindert Filmbildung und Schäden am Sichtfenster, die bei Filmbildungsprozessen wie Verdampfen, Sputtern, MBE und CVD sowie bei Prozessen mit organischem Gas ein Problem darstellen können. Vakuumbehälter bestehen meist aus Edelstahl, sodass man nicht hineinsehen kann. Um hineinzusehen, verwenden Sie ein Sichtfenster, das als Viewport bezeichnet wird. Bei Prozessen wie der Filmbildung haftet der Film jedoch an der Sichtöffnung, sodass ein Blick in das Vakuumgefäß nicht mehr möglich ist. Um den anhaftenden Film zu entfernen, kratzen Sie ihn ab, nachdem Sie ihn der Atmosphäre ausgesetzt haben, und verwenden Sie in manchen Fällen Chemikalien. Wenn die Membran steifer ist und nicht entfernt werden kann, muss das Sichtfenster möglicherweise ersetzt werden. Daher wird ein Sichtfensterverschluss wie dieser installiert und geschlossen, wenn nicht beobachtet wird, um zu verhindern, dass sich Film auf dem Sichtfenster bildet.

■Funktionen

・Mit der Conflat-Flansch-Spezifikation kann es in verschiedenen Ultrahochvakuumgeräten wie MBE-Geräten verwendet werden. ・Die rotierende Einführungsmaschine verwendet auch die RFT-Serie, die mit dem Backen bei 200 °C kompatibel ist und zum Backen bei hohen Temperaturen geeignet ist. - Kompatibel mit φ70CF bis φ203CF. ・Es lässt sich nahezu lückenlos verschließen und ist auch bei Proben mit hohem Dampfdruck wirksam. ・Optionales Schutzglas und RHEED-Bildschirm können installiert werden. ・Sie können die Öffnungs-/Schließrichtung durch eine einfache Neuanordnung ändern. ・Flansche in Sondergrößen können ebenfalls hergestellt werden. Bitte konsultieren Sie uns.

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    Sichtfensterverschluss SF-Serie

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1 Modelle von Sichtfensterverschluss SF-Serie

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Backtemperatur Leckmenge Hauptmaterial Rotierende Einführungsmaschine verwendet Montageflansch Masse (g)
Sichtfensterverschluss SF-Serie-Part Number-SF70

SF70

Auf Anfrage erhältlich

200℃

6,7×10^-11 Pa・m^3/s oder weniger

SUS 304

RFT34B-VP (Magnetkupplung)

φ70CF

650

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