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Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie-GLIS-C12
Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie-Arios Co., Ltd.

Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Bei dieser Ionenstrahlquelle handelt es sich um eine gitterlose Ionenquelle vom Gleichstromentladungstyp. Es verfügt über einen äußerst einfachen Aufbau, der auf dem Funktionsprinzip der gleichzeitigen Ionenerzeugung und Ionenbeschleunigung basiert. Aufgrund des starken Magnetkreises und der Elektrodenstruktur ist ein stabiler Betrieb auch unter Niederdruckbedingungen möglich. Ideal zum Reinigen von Untergründen etc. Durch die Verwendung eines optionalen Neutralisators ist es auch möglich, Isoliermaterialien zu verwenden.

■Anwendungsbeispiele

・Substratreinigung von Filmbildungsgeräten ・Reinigung des Analysatorsubstrats ・Ionenstrahlsputtern

■Ionenstromdichtebedingungen

・Elektroden-Sonden-Abstand: 60 mm ・Abgassystem: 260 l/s TMP (N2) + 250 l/min DP ・Druck: 3,7×10^-2Pa (Ar.1sccm) 7,0×10^-2Pa (Ar.2sccm)

■Standardkonfiguration

・Ionenquellenkörper ・Spezielles 2-kV-DC-Netzteil (DCPS-201) ・Ein Kabelsatz

■Optionen

・Filamentneutralisator ・Zündgerät (Hochspannungsimpulsanwendungstyp [automatisch])

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    Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie

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1 Modelle von Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Ionenbestrahlungsanschluss Gaseinlass Backen Kühlmethode Beschleunigungsspannung Anschlussflansch Entladungskammer Isolator
Gitterlose Ionenquelle der GLIS-Serie-Part Number-GLIS-C12

GLIS-C12

Auf Anfrage erhältlich

φ12mm *Form kann geändert werden

1/4 VCRTM

Maximal 200℃

natürliche Luftkühlung

MAX 2.000 V

φ70CF

SUS

Aluminiumoxid

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