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Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator-Infrarot-Heizmethode (Typ 1.000 ℃)
Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator-Arios Co., Ltd.

Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator
Arios Co., Ltd.

Antwortstatus von Arios Co., Ltd.

Antwortquote

100.0%

Antwortzeit

2.7Stunden

Unternehmensbewertung

5.0

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Über dieses Produkt

Überblick Bei diesem Gerät handelt es sich um ein Analysegerät, das eine Probe im Ultrahochvakuum erhitzen und die desorbierten Moleküle in Echtzeit mithilfe eines Massenspektrometers beobachten kann. Durch die Erstellung eines temperaturprogrammierten Desorptionsspektrums ist es möglich, zahlreiche Informationen zu erhalten, wie z. B. die Identifizierung adsorbierter chemischer Spezies auf der festen Oberfläche, die Adsorptionsmenge und den Adsorptionszustand sowie den Desorptionsprozess von der Oberfläche.

■Funktionen

・Da die Struktur nur die Probe im Ultrahochvakuum erhitzt, ist der Hintergrund gering und eine hochempfindliche Analyse für Komponenten wie Wasser, Wasserstoff, Sauerstoff und Stickstoff ist möglich. - Ideal für die Beurteilung der Kontamination der Waferoberfläche, die Untersuchung von restlichem Filmbildungsgas, die Untersuchung der Ursache von Anomalien wie Filmablösung und die Untersuchung von Ausgasungen aus verschiedenen Materialien. -Ausgestattet mit einer Ladeschleusenkammer, die den Probenaustausch ermöglicht und gleichzeitig ein Ultrahochvakuum in der Analysekammer aufrechterhält. ・Wir schlagen Ihnen die optimale Gerätekonfiguration mit einem auf Ihr gewünschtes Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) zugeschnittenen Design vor. ・Mit einem für unser Unternehmen einzigartigen Funktionslayout, das über umfassende Kenntnisse der Ultrahochvakuumtechnologie verfügt, haben wir einfache Funktionen und Bedienbarkeit erreicht, die eine einfache Handhabung und einen angemessenen Preis ermöglichen.

■Optionen

・Wechsel zur hochfrequenten elektromagnetischen Induktionserwärmungsmethode ・Bewegliches Thermoelement (Thermoelement + linearer Einführer/Hub 60 mm)

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    Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator

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1 Modelle von Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Probenabmessungen Enddruck Heizmethode Material für die Substratstufe Transport an Bord Heiztemperaturbereich Minimaler Detektionspartialdruck Temperatursensor Zahlenbereich der Messmasse
Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator-Part Number-Infrarot-Heizmethode (Typ 1.000 ℃)

Infrarot-Heizmethode (Typ 1.000 ℃)

Auf Anfrage erhältlich

10mm×10mm 3mmt

1×10^-7Pa oder weniger (Analyseraum)

Infrarot-Heizmethode
Halogenlampe 500W (wassergekühlt) + Goldspiegel

Quarz

Übertragungsstange (manuell)
*Proben werden in einem Quarzhalter transportiert.

Raumtemperatur (RT) ~ 1.000℃ (Max)

<1×10^-12Pa *Abhängig von den QMS-Spezifikationen

Thermoelement vom Typ C (zur Heizungssteuerung)
Thermoelement Typ K (zur Probentemperaturmessung/60 mm beweglicher Kontakttyp)
*Bewegliches Thermoelement ist optional.

1 ~ 200amu *Abhängig von den QMS-Spezifikationen

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Über das Unternehmen, das dieses Produkt anbietet

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