Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator-Infrarot-Heizmethode (Typ 1.000 ℃)

Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

Überblick
Bei diesem Gerät handelt es sich um ein Analysegerät, das eine Probe im Ultrahochvakuum erhitzen und die desorbierten Moleküle in Echtzeit mithilfe eines Massenspektrometers beobachten kann. Durch die Erstellung eines temperaturprogrammierten Desorptionsspektrums ist es möglich, zahlreiche Informationen zu erhalten, wie z. B. die Identifizierung adsorbierter chemischer Spezies auf der festen Oberfläche, die Adsorptionsmenge und den Adsorptionszustand sowie den Desorptionsprozess von der Oberfläche.

■Funktionen・Da die Struktur nur die Probe im Ultrahochvakuum erhitzt, ist der Hintergrund gering und eine hochempfindliche Analyse für Komponenten wie Wasser, Wasserstoff, Sauerstoff und Stickstoff ist möglich.
- Ideal für die Beurteilung der Kontamination der Waferoberfläche, die Untersuchung von restlichem Filmbildungsgas, die Untersuchung der Ursache von Anomalien wie Filmablösung und die Untersuchung von Ausgasungen aus verschiedenen Materialien.
-Ausgestattet mit einer Ladeschleusenkammer, die den Probenaustausch ermöglicht und gleichzeitig ein Ultrahochvakuum in der Analysekammer aufrechterhält.
・Wir schlagen Ihnen die optimale Gerätekonfiguration mit einem auf Ihr gewünschtes Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) zugeschnittenen Design vor.
・Mit einem für unser Unternehmen einzigartigen Funktionslayout, das über umfassende Kenntnisse der Ultrahochvakuumtechnologie verfügt, haben wir einfache Funktionen und Bedienbarkeit erreicht, die eine einfache Handhabung und einen angemessenen Preis ermöglichen.

■Optionen・Wechsel zur hochfrequenten elektromagnetischen Induktionserwärmungsmethode
・Bewegliches Thermoelement (Thermoelement + linearer Einführer/Hub 60 mm)

Modell
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Produkt
Temperaturprogrammierter Desorptionsgasanalysator

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Arios Co., Ltd.

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Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	Probenabmessungen	Enddruck	Heizmethode	Material für die Substratstufe	Transport an Bord	Heiztemperaturbereich	Minimaler Detektionspartialdruck	Temperatursensor	Zahlenbereich der Messmasse
	Infrarot-Heizmethode (Typ 1.000 ℃)	Auf Anfrage erhältlich	10mm×10mm 3mmt	1×10^-7Pa oder weniger (Analyseraum)	Infrarot-Heizmethode Halogenlampe 500W (wassergekühlt) + Goldspiegel	Quarz	Übertragungsstange (manuell) *Proben werden in einem Quarzhalter transportiert.	Raumtemperatur (RT) ~ 1.000℃ (Max)	<1×10^-12Pa *Abhängig von den QMS-Spezifikationen	Thermoelement vom Typ C (zur Heizungssteuerung) Thermoelement Typ K (zur Probentemperaturmessung/60 mm beweglicher Kontakttyp) *Bewegliches Thermoelement ist optional.	1 ~ 200amu *Abhängig von den QMS-Spezifikationen

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