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Vakuumglühausrüstung-Vakuumglühausrüstung
Vakuumglühausrüstung-Arios Co., Ltd.

Vakuumglühausrüstung
Arios Co., Ltd.

Antwortstatus von Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Geräteübersicht

Bei diesem Gerät handelt es sich um ein Hochvakuum-Heizgerät (Glühofen) zum Erhitzen von 3" bis 8" großen Substraten und Vakuumkomponenten auf 200 bis 600℃ im Vakuum. Es eignet sich auch ideal für Glüh- und Vakuumentgasungsbehandlungen wie die Wiederherstellung von Schäden durch Ionenstrahlen. Wie im Herstellungsprozess eingeführt, ist die Hochtemperatur-Gasbehandlung und die Umstellung auf Ultrahochvakuum auch die Vakuumentgasungsbehandlung von Teilen, die in Ultrahochvakuumbehältern verwendet werden, wichtig, um den angegebenen Vakuumgrad zu erreichen. Informationen zu den Eigenschaften und Versuchen von Ionenstrahlen finden Sie unter Ionenstrahlen und ihre Anwendungen. Gerne besprechen wir mit Ihnen die Anzahl der am Stück zu verarbeitenden Blätter und die Plattengröße.

■Funktionen

- Carbon-Heizung ermöglicht Hochtemperaturheizung in kurzer Zeit. ・Eine saubere Vakuumerwärmung ist durch Absaugen mit einer Turbomolekularpumpe möglich. -Ausgestattet mit einem Gaseinleitungssystem, das das Erhitzen in verschiedenen Gasatmosphären (0,5 Pa oder weniger) ermöglicht. - Der Abluftbetrieb erfolgt automatisch über die Touchpanel-Bedienung. - PID-Regelung der Heiztemperatur mittels Thermoelement oder Pyrometer.

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    Vakuumglühausrüstung

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1 Modelle von Vakuumglühausrüstung

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Gaseinleitungssystem Enddruck Heiztemperatur Dienstprogramm Installationsbereich Gewicht
Vakuumglühausrüstung-Part Number-Vakuumglühausrüstung

Vakuumglühausrüstung

Auf Anfrage erhältlich

Bis zu 6 Systeme (variables Leckventil, VCR-Anschluss)

5×10^-6 Pa oder weniger

Maximal 600 ℃ (Gleichmäßigkeit in der Ebene innerhalb von ± 10 ℃)

Einphasig AC200V 50A
Einphasig AC100V 20A
Druckluft (für Ventilbetrieb) 0,5–0,7 MPa
Trockener Stickstoff (zur atmosphärischen Freisetzung) 0,1–0,5 MPa

Ungefähr 1.400 (B) × 1.000 (T) mm

Ungefähr 500 kg

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