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MP-CVD-Ausrüstung für die Diamantsynthese DCVD-301B/601BVerarbeitendes Unternehmen
Arios Co., Ltd.Kategorien
| Bild | Teilenummer | Preis (ohne Steuern) | Gasversorgungssystem | Kammermaterial/-form | Kammerkonfiguration | Prozessgas | Mikrowelle | Methode zur Mikrowellen-Stromversorgung | Leckmenge | Ultimatives Vakuum | Kontrollmethode | Druckeinstellung | Druckluft | Boardgröße (maximal) | Methode zur Substraterwärmung | Abgasanlage | Hauptkörperständer | Temperaturmessung | Netzstrom | Vakuummeter | Größe des Probenhalters |
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DCVD-301B |
Auf Anfrage erhältlich |
MFC5-Systeme (H2, CH4, N2, O2, Ar), bis zu 7 Systeme |
Spezielle kuppelförmige Kammer aus Aluminium |
1 Kammer |
H2, CH4, N2, O2, Ar (1/4" Swagelok oder 1/4" VCR) |
0~3 kW stufenlos regelbar (2,45 GHz) + manuelle Anpassungsbox |
Antennenspeisetyp (dient auch als Probentisch) |
1,0×10^-8Pa・m^3/s oder weniger (ohne O-Ring-Übertragung) |
1×10^-1Pa oder weniger |
Touchpanel (manuell) |
Automatischer Druckregler (APC) |
0,5 MPa |
□5mm x 7 Stück oder φ1 Zoll x 1 Stück |
Plasmaheizung: MAX1.200℃, interne Wasserkühlung |
Mechanische Druckerhöhungspumpe + Trockenpumpe + Turbomolekularpumpe |
Mit Rollen und Verstellern (inkl. Netzteil), Gewicht ca. 250 kg |
Strahlungsthermometer |
[Gehäuse] AC200V dreiphasig 30A [Kühler] AC200V einphasig 15A *DCVD-301B |
Pirani-Vakuummeter + Vollbereichs-Vakuummeter + Membran-Vakuummeter (für APC) |
Ø27mm |
Die hier gezeigten Bewertungen sind Unternehmensbewertungen.
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Antwortquote
100.0%
Antwortzeit
2.7Std.
Unternehmensbewertung
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