HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550-RFPC-550

HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550
Arios Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■ZusammenfassungBei diesem Gerät handelt es sich um ein experimentelles HF-Plasmagerät, das aus einer HF-Plasmaquelle, einem Substratheizmechanismus, einem Gasversorgungssystem und einer Ladeschleusenkammer besteht und in der Lage ist, verschiedene Rohmaterialgase in Plasma umzuwandeln und Substrate zu verarbeiten. Durch die Änderung von Bedingungen wie Gasart und Gasdruck sind vielfältige Experimente zur Plasmaverarbeitung möglich. Eine flexible Gestaltung ist nur möglich, weil wir unsere Plasmaquellen selbst entwerfen. Wir entwerfen und fertigen nach den vom Kunden geforderten Spezifikationen.

■Funktionen・Einfache Bedienung mit automatischem Matching.
- Kompakte Kammer und einfache Konfiguration ermöglichen eine einfache Wartung.
-Ausgestattet mit einer Verriegelung, um einen Hochspannungs-Stromschlag durch HF zu verhindern (HF kann nur im Vakuum angewendet werden).
-Ausgestattet mit Hochfrequenz-Leckstrommessungen und einem Mechanismus zum sicheren Stoppen im Falle eines Stromausfalls.
・Lastverriegelungsmechanismus kann optional hinzugefügt werden. Das Einbringen der Platine kann äußerst einfach und in kurzer Zeit erfolgen, ohne dass sie der Atmosphäre ausgesetzt wird.

■Optionen・Substratheizmechanismus: Maximale Heiztemperatur 900℃, Substratposition nach oben und unten variabel, Stromversorgung Gleichstromnetzteil + Temperaturregler
・Schleusenraum laden: TMP+RP
・Aufbereitungsraum: RP + Vorleitungsfalle (Ölnebelfalle)

Modell
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Produkt
HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550

Verarbeitendes Unternehmen
Arios Co., Ltd.

Kategorien

Fertigungs-/Baumaschine

Plasma-Ausrüstung

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1 Modelle von HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550

Bild	Teilenummer	Preis (ohne Steuern)	HF-Ausgangsleistung	Gasversorgungssystem	Plasmaquelle	Schleusenkammer laden	Bearbeitungsraum	Bretthalter	Gegenelektrode	Hauptkörperständer	Dienstprogramm	Vakuum-Abgassystem	Vakuummeter	Stromversorgungsteil
	RFPC-550	Auf Anfrage erhältlich	0 ~ 550 W (13,56 MHz ± 1 kHz)	2 Nadelventilsysteme (oder Massendurchflussregler)	RF: 0~500 W variabel + automatische Anpassungsbox (manuelle Abstimmung möglich) (Induktive Kopplung oder kapazitive Kopplung, Reaktionsrohr: φ40×36 Quarzrohr)	SUS 304 Lukenanschluss + O-Ring-Übertragungsstange	Hergestellt aus SUS 304	Material: Aluminium, 240 mm x 300 mm (MAX), HF-Anwendungselektrode	Material: Aluminium, 240 mm x 300 mm (MAX), vertikaler O-Ring-Antrieb, manuell	Mit Rollen und Verstellern (inkl. Netzteil), Körpergewicht ca. 300 kg	AC200V 3 Phasen 20A (maximal) Prozessgas: Inertgas SwagelokTM 1/4 oder VCRTM 1/4 2 Leitungen	Hauptpumpe RP + Ölnebelabscheider	Thermoelement-Vakuummeter (oder Membranmessgerät)	Unterbrecherkasten 1 Satz, RP-Schalttafel 1 Satz, Vakuummeter-Controller 1 Satz, HF-Stromversorgung