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HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550-RFPC-550
HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550-Arios Co., Ltd.

HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550
Arios Co., Ltd.

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2.7Stunden

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5.0

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Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Bei diesem Gerät handelt es sich um ein experimentelles HF-Plasmagerät, das aus einer HF-Plasmaquelle, einem Substratheizmechanismus, einem Gasversorgungssystem und einer Ladeschleusenkammer besteht und in der Lage ist, verschiedene Rohmaterialgase in Plasma umzuwandeln und Substrate zu verarbeiten. Durch die Änderung von Bedingungen wie Gasart und Gasdruck sind vielfältige Experimente zur Plasmaverarbeitung möglich. Eine flexible Gestaltung ist nur möglich, weil wir unsere Plasmaquellen selbst entwerfen. Wir entwerfen und fertigen nach den vom Kunden geforderten Spezifikationen.

■Funktionen

・Einfache Bedienung mit automatischem Matching. - Kompakte Kammer und einfache Konfiguration ermöglichen eine einfache Wartung. -Ausgestattet mit einer Verriegelung, um einen Hochspannungs-Stromschlag durch HF zu verhindern (HF kann nur im Vakuum angewendet werden). -Ausgestattet mit Hochfrequenz-Leckstrommessungen und einem Mechanismus zum sicheren Stoppen im Falle eines Stromausfalls. ・Lastverriegelungsmechanismus kann optional hinzugefügt werden. Das Einbringen der Platine kann äußerst einfach und in kurzer Zeit erfolgen, ohne dass sie der Atmosphäre ausgesetzt wird.

■Optionen

・Substratheizmechanismus: Maximale Heiztemperatur 900℃, Substratposition nach oben und unten variabel, Stromversorgung Gleichstromnetzteil + Temperaturregler ・Schleusenraum laden: TMP+RP ・Aufbereitungsraum: RP + Vorleitungsfalle (Ölnebelfalle)

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    HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550

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1 Modelle von HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) HF-Ausgangsleistung Gasversorgungssystem Plasmaquelle Schleusenkammer laden Bearbeitungsraum Bretthalter Gegenelektrode Hauptkörperständer Dienstprogramm Vakuum-Abgassystem Vakuummeter Stromversorgungsteil
HF-Plasma-Versuchsausrüstung RFPC-550-Part Number-RFPC-550

RFPC-550

Auf Anfrage erhältlich

0 ~ 550 W (13,56 MHz ± 1 kHz)

2 Nadelventilsysteme (oder Massendurchflussregler)

RF: 0~500 W variabel + automatische Anpassungsbox (manuelle Abstimmung möglich)
(Induktive Kopplung oder kapazitive Kopplung, Reaktionsrohr: φ40×36 Quarzrohr)

SUS 304 Lukenanschluss + O-Ring-Übertragungsstange

Hergestellt aus SUS 304

Material: Aluminium, 240 mm x 300 mm (MAX), HF-Anwendungselektrode

Material: Aluminium, 240 mm x 300 mm (MAX), vertikaler O-Ring-Antrieb, manuell

Mit Rollen und Verstellern (inkl. Netzteil), Körpergewicht ca. 300 kg

AC200V 3 Phasen 20A (maximal)
Prozessgas: Inertgas SwagelokTM 1/4 oder VCRTM 1/4 2 Leitungen

Hauptpumpe RP + Ölnebelabscheider

Thermoelement-Vakuummeter (oder Membranmessgerät)

Unterbrecherkasten 1 Satz, RP-Schalttafel 1 Satz, Vakuummeter-Controller 1 Satz, HF-Stromversorgung

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