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Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS-UHVPS
Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS-Arios Co., Ltd.

Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS
Arios Co., Ltd.

Antwortstatus von Arios Co., Ltd.

Antwortquote

100.0%

Antwortzeit

2.7Stunden

Unternehmensbewertung

5.0

Sehr schnelle Antwort

Über dieses Produkt

■Zusammenfassung

Die Herstellung von Ultrahochvakuum-Pumpanlagen erfordert viele Techniken, von der Materialauswahl über Schweißen, Reinigen, Oberflächenpolieren und Oberflächenbehandlung bis hin zur Handhabung. Unser Unternehmen fertigt verschiedene Arten von Ultrahochvakuum-Pumpanlagen unter Verwendung der Ultrahochvakuum-Herstellungstechnologie, die durch Molekularstrahlzellen und MBE-Geräte kultiviert wird. Wir haben positive Bewertungen von Kunden erhalten, die unsere Geräte bereits nutzen, beispielsweise die Fähigkeit, in kurzer Zeit ein Ultrahochvakuum zu erreichen. Dieses Gerät ist mit einer Luke zum Probenaustausch in der Hauptkammer ausgestattet und kann durch die Kombination verschiedener Komponenten wie verschiedener Plasmaquellen, Heizmechanismen, Verdampfungsquellen und Gasversorgungssysteme für eine Vielzahl von Experimenten verwendet werden.

■Funktionen

・Basierend auf einem sauberen Vakuum kann es für viele Experimente wie Filmbildung und Ätzen verwendet werden. - Kompakte Kammer und einfache Konfiguration ermöglichen eine einfache Wartung. - Kann aufgrund der minimalen Konfiguration und des vollständig manuellen Typs zu geringen Kosten eingeführt werden. ・Eine individuelle Anpassung ist durch die Installation verschiedener Optionen möglich.

■Optionen

・Substratheizmechanismus ・Board-Auf- und -Ab-Mechanismus ・Ladeverriegelungsmechanismus ・Verschiedene Plasmaquellen ・Heizmechanismus ・Dampfabscheidungsquelle ・Verschiedene Gasversorgungssysteme

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    Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS

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1 Modelle von Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Steuerstromversorgung für Turbomolekularpumpen Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe Kammer Enddruck der Kammer Leckmenge Saugvermögen der Rotationspumpe Leistung des Rotationspumpenmotors Ladeluke Größe Hauptkörperständer Druckluftversorgung Netzstromversorgung Vakuummeter Gewicht
Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPS-Part Number-UHVPS

UHVPS

Auf Anfrage erhältlich

Ausgestattet mit digitalen Steuerüberwachungs- und Schutzfunktionen

260~355 L/Sek. (N2, mit schützendem Drahtgeflecht) Hergestellt von Pfeiffer TM oder
220–350 l/s (N2, mit schützendem Drahtgeflecht) Hergestellt von Osaka Vacuum Equipment Manufacturing TM

Hergestellt aus SUS304 (inneres Hochglanzfinish, elektrolytische Polierbehandlung)

1×10^-4 Pa oder weniger (ohne Last in der Kammer)

6,7×10^-11 Pa・m^3/s oder weniger

250 l/min

0,45 kW

Hergestellt aus SUS304-O-Ring

500 mm × 600 mm H1100 mm

Mit Rollen und Verstellern

Druck 0,4–0,6 MPa (Anschlussdurchmesser Rc 1/4)

Einphasig 200 V/15 A (max.)

Kompaktes Vollbereichs-CC-Messgerät

Körper ca. 60kg

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