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Ultrahochvakuum-Pumpanlage UHVPSVerarbeitendes Unternehmen
Arios Co., Ltd.Kategorien
| Bild | Teilenummer | Preis (ohne Steuern) | Steuerstromversorgung für Turbomolekularpumpen | Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe | Kammer | Enddruck der Kammer | Leckmenge | Saugvermögen der Rotationspumpe | Leistung des Rotationspumpenmotors | Ladeluke | Größe | Hauptkörperständer | Druckluftversorgung | Netzstromversorgung | Vakuummeter | Gewicht |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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UHVPS |
Auf Anfrage erhältlich |
Ausgestattet mit digitalen Steuerüberwachungs- und Schutzfunktionen |
260~355 L/Sek. (N2, mit schützendem Drahtgeflecht) Hergestellt von Pfeiffer TM oder |
Hergestellt aus SUS304 (inneres Hochglanzfinish, elektrolytische Polierbehandlung) |
1×10^-4 Pa oder weniger (ohne Last in der Kammer) |
6,7×10^-11 Pa・m^3/s oder weniger |
250 l/min |
0,45 kW |
Hergestellt aus SUS304-O-Ring |
500 mm × 600 mm H1100 mm |
Mit Rollen und Verstellern |
Druck 0,4–0,6 MPa (Anschlussdurchmesser Rc 1/4) |
Einphasig 200 V/15 A (max.) |
Kompaktes Vollbereichs-CC-Messgerät |
Körper ca. 60kg |
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