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Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie-GF100
Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie-Regal Joint Co., Ltd.

Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie
Regal Joint Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Funktionen

・Wählen und ändern Sie den Gastyp und den vollen Durchflussbereich mithilfe der MultiFlo-Technologie ・Benutzerfreundliche Schnittstelle mit Diagnosefunktionen und Service-Port ・Langzeitstabile Leistung mit korrosionsbeständigem Hastelloy T-Rise-Sensor ・Erreichte ultraschnelle Einschwingzeit von 300 ms (GF125 / GF135) ・SDS (Safty Delivery System), HA (High Accuracy) Option ・Ausgezeichnete Druckschwankungsbeständigkeit mit PTI-Funktion (Pressure Transient Insesitivity) (GF125 / GF135) ・Wartungsfreie Struktur ohne mechanisch bewegliche Teile. ・Ausgestattet mit einer Echtzeit-Funktion zur Diagnose und Erkennung von Gasflussanomalien (GF135) ・Rohrverlängerungen und Verbindungsstücke sind auf Anfrage ebenfalls erhältlich.

■Anwendungen

・Ätz-, CVD- und Diffusionsofen für modernste Halbleiterfertigungsprozesse ・Hochmodernes Verbindungshalbleiter-MO-CVD ・OEM / Von MultiFlo verwendete Gasleitungen unterstützen verschiedene Gasarten und Durchflussbereiche / Reduzierte Menge an Ersatzbeständen ・Reduzierung der Größe und des Gewichts des Gassystems mithilfe der PTI-Funktion ・Langzeitstabile Durchflussregelung kritischer Prozessgase mit Funktionen zur Diagnose und Erkennung von Gasströmungsanomalien

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    Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie

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1 Modelle von Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) E/A Multi-Flo P.T.I. Umgebungstemperaturbereich externe Leckrate Reaktionsfähigkeit Durchflussmenge Genauigkeit Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit Oberflächenrauheit
Digitaler Massendurchflussregler/-messer der GF100-Serie-Part Number-GF100

GF100

Auf Anfrage erhältlich

0~5 VDC/RS485/DeviceNet

Option

Nicht unterstützt

10~50℃

1×10^-12 Pa・m^3 /s (He) oder weniger

1s oder weniger

3 sccm F.S ~ 50 slm N2-Umwandlung

±1 % S.P. (35 ~ 100 % FS)
±0,35 % FS (2 ~ 35 % FS)

< ±0,15 % v.D.

0,25 μm

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