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Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität-Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität
Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität-Aszac Co., Ltd.

Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität
Aszac Co., Ltd.

Antwortstatus von Aszac Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

Eine spezielle Aluminiumoxidschicht, die Elektrizität leicht leitet. Es kann auf die Oberfläche normaler Aluminiumoxidprodukte aufgetragen werden, um eine statische Neutralisierungswirkung zu erzielen. Keramik wird häufig als „Isoliermaterial“ verwendet, das grundsätzlich keinen Strom leitet. Bei keramischen Transferhänden kann es jedoch je nach Einsatzumgebung zu statischer Elektrizität an der Roboterhand kommen, die zu Schäden an den winzigen Schaltkreisen auf dem Wafer führt. Daher konzentrierte sich Aszac darauf, eine leitfähige Beschichtung auf die Oberfläche der Aluminiumoxidhand aufzutragen, um die Ableitung der statischen Elektrizität auf der Roboterhand zu erleichtern, und gelang es durch wiederholte Demonstrationsexperimente, den Oberflächenwiderstandswert zu senken. Normalerweise beträgt der Oberflächenwiderstandswert von Aluminiumoxid als Isoliermaterial 1,0×1015 Ω, er kann jedoch durch Beschichtung auf 1,0×106 bis 1,0×1010 Ω gesenkt werden.

■Diese schwarze Aluminiumoxidfolie, die statische Elektrizität ableitet, bietet viele weitere Vorteile.

- Deckt Oberflächenwiderstandswerte ab, die für Gegenmaßnahmen gegen statische Elektrizität wirksam sind. ・Hervorragende Leitfähigkeit, Hitzebeständigkeit und Haftung als Fluorharzbeschichtungen. ・Geringe Kosten im Vergleich zu SiC. ・Da es sich um eine Fellbehandlung handelt, können Sie nur die Menge auftragen, die Sie benötigen, wenn Sie sie benötigen. ・Schwarze Farbe verhindert Lichtreflexionen und ist daher ideal für Teile für optische Anwendungen. ・Da es aus hochreinem Aluminiumoxid besteht, kann es das Auftreten von Verunreinigungen verhindern. Maßnahmen können nicht nur für die Transferhand, sondern auch für den Wafer-Hochschiebestift, Kammerinnenteile usw. ergriffen werden. Optional ist auch eine elfenbeinfarbene Fellfarbe erhältlich. Sie können es wählen, wenn Sie eine Harmonie mit der Aluminiumoxidfarbe der umgebenden Teile benötigen.

■Funktionen

・Hat einen Oberflächenwiderstandswert, der als Gegenmaßnahme gegen statische Elektrizität wirksam ist. ・Geringeres Risiko von Partikeln und Verunreinigungen ・Hohe Hitzebeständigkeit

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    Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität

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1 Modelle von Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Material Zweck
Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität-Part Number-Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität

Aluminiumoxidmembran zur Ableitung statischer Elektrizität

Auf Anfrage erhältlich

Aluminiumoxid

Für den Wafertransfer (Atmosphäre/Vakuum)

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