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Keramische Saughand UniZac-air®-Saughand UniZac-air®
Keramische Saughand UniZac-air®-Aszac Co., Ltd.

Keramische Saughand UniZac-air®
Aszac Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Was ist eine Saughand?

Hierbei handelt es sich um eine Keramikhand mit Vakuumspannfutter, die mithilfe der hohlen Integralformtechnologie eine Vakuumleitung ohne Verwendung von Klebstoff bildet. Es verfügt über Merkmale wie „Hitzebeständigkeit“, die sich die Eigenschaften von Keramik zunutze macht, „geringerer Durchhang als die gleiche Art von Metallzeiger“ und „geringes Gewicht“. Insbesondere kommt bei der Keramikhand mit Vakuumspannfutter kein Klebstoff zum Einsatz, so dass sie bei hohen Temperaturen eingesetzt werden kann und auch als Gegenmaßnahme gegen organische Ausgasungen aus Klebstoffen wirksam ist. Eine Transferhand (Endeffektor), die mit einem Saugmechanismus ausgestattet ist, muss über einen internen Strömungsweg verfügen, aber das Kleben von SUS mit Klebstoff erhöht das Risiko einer Kontamination mit Fremdkörpern. Keramische Saug- und Förderhände, die mit unserer integrierten Hohlraumtechnologie hergestellt werden und das Risiko einer Metallkontamination und Partikelkontamination eliminieren, sind zum Industriestandard geworden. Hinsichtlich der Saugleistung der Vakuum-Spannzangenhand führen wir nach unseren internen Vorschriften Durchfluss- und Dichtheitsprüfungen durch. Für Einzelheiten kontaktieren Sie uns bitte.

■Funktionen

・Wir können die Befestigungslöcher Ihrer Wahl bearbeiten. Löcher können an jeder beliebigen Stelle über die gesamte Länge vom Sockel aus gebohrt werden. - Die Position des Sauganschlusses kann angepasst werden. Es ist möglich, Löcher auf der Vorder- und Rückseite oberhalb der Mittellinie zu bohren. ・Die Monocoque-Ausführung mit integriertem Hohlraum ist stärker als die laminierte Ausführung. ・Erhebliche Kostenreduzierung. Da durch die Standardisierung ein gemeinsames Werkzeug verwendet wird, entfallen die üblicherweise anfallenden teuren Werkzeugkosten.

■Was ist eine Transporthand?

Wird verwendet, um Siliziumwafer mithilfe von Robotern in und aus Kassetten und Prozesskammern zu bewegen. Keramik wird verwendet, weil sie aufgrund ihrer hohen Festigkeit die Durchbiegung verringert, beständig gegen Umgebungen mit hohen Temperaturen ist und zur Lösung von Problemen wie Metallverunreinigung und Staubentwicklung eingesetzt wird.

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    Keramische Saughand UniZac-air®

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1 Modelle von Keramische Saughand UniZac-air®

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Material Zweck
Keramische Saughand UniZac-air®-Part Number-Saughand UniZac-air®

Saughand UniZac-air®

Auf Anfrage erhältlich

Aluminiumoxid

Für Wafertransport (Atmosphäre)

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