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PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm-PeriZac® Standard-Saughand mit 3 mm Umfang
PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm-Aszac Co., Ltd.

PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm
Aszac Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Keramik-Transporthand für atmosphärischen Einsatz, der das Risiko der Partikelbildung minimiert

Es gibt viele Anfragen nach Materialien, die leichter, fester und weniger flexibel für Endeffektoren (Handteile von Transferrobotern) in Halbleiterfertigungsanlagen sind. Bei Prozessen, bei denen viele Wafer auf einmal gehandhabt werden sollen, müssen die Wafer in einen Schlitz mit geringem Spielraum geladen werden, und es werden dünnere Endeffektoren aus Keramik verwendet. Eine Transferhand (Endeffektor), die mit einem Saugmechanismus ausgestattet ist, muss über einen internen Strömungsweg verfügen, aber das Kleben von SUS mit Klebstoff erhöht das Risiko einer Kontamination mit Fremdkörpern. Keramische Saug- und Förderhände, die mit unserer integrierten Hohlraumtechnologie hergestellt werden und das Risiko einer Metallkontamination und Partikelkontamination eliminieren, sind zum Industriestandard geworden. PeriZac reduziert Partikel weiter, indem es die Kontaktfläche und Position des Wafers sorgfältig anpasst und die äußere Peripherie dort, wo keine Schaltkreise aufgebaut sind, sanft festhält. Dieses Produkt richtet sich an Hersteller von Halbleiterbauelementen, die ihre Ausbeute verbessern möchten. PeriZac ist ein geprägtes Wort aus Peripheral +ASUZAC.

■Funktionen

・Unterdrückt die Bildung von Partikeln aus dem abgeschrägten Teil und der Rückseite, die beim Transport oder bei Kontakt entstehen. ・Verwendet ein Material für die Führung, das den Wafer nicht so leicht beschädigt ・Athzacs proprietäre hohlraumintegrierte Technologie, die ohne Klebstoff auskommt, ermöglicht eine Ausdünnung. ・Verfügbar zum Bearbeiten von Montagelöchern und zum Ändern der Wurzellänge und -breite ・Unterstützt Optionen wie die Sensorinstallation ・Atmosphärischer Spezifikationszeiger

■Was ist eine Transporthand?

Wird verwendet, um Siliziumwafer mithilfe von Robotern in und aus Kassetten und Prozesskammern zu bewegen. Keramik wird verwendet, weil sie aufgrund ihrer hohen Festigkeit die Durchbiegung verringert, beständig gegen Umgebungen mit hohen Temperaturen ist und zur Lösung von Problemen wie Metallverunreinigung und Staubentwicklung eingesetzt wird.

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    PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm

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1 Modelle von PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Material Zweck
PeriZac® Standard-Adsorptionshand mit einem Außenumfang von 3 mm-Part Number-PeriZac® Standard-Saughand mit 3 mm Umfang

PeriZac® Standard-Saughand mit 3 mm Umfang

Auf Anfrage erhältlich

Aluminiumoxid

Für Wafertransport (Atmosphäre)

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