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Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®-Bernoulli Hand LeviZac®
Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®-Aszac Co., Ltd.

Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®
Aszac Co., Ltd.

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Über dieses Produkt

■Was ist die Bernoulli-Hand (LeviZac®)?

Im Halbleiterfertigungsprozess werden Wafermuster immer feiner. Die Nachfrage nach berührungslosen Händen als Lösung zur Beseitigung von Adsorptionsspuren, Beschädigungen und Partikeln auf Wafern steigt. Deshalb haben wir eine originale Bernoulli-Handarbeit aus Keramik entwickelt. Dabei handelt es sich um eine Hand, die mit ihrer einzigartigen Form aus Luftlöchern Wafer ansaugt und hält. Es ist möglich, den Wafer innerhalb von 3 mm von seinem Außenumfang zu halten, wodurch Schäden am Wafer reduziert und die Entstehung von Partikeln aufgrund des Kontakts mit der Führung unterdrückt werden. Im Vergleich zu Metallzeigern weist es eine höhere Festigkeit sowie eine überlegene Chemikalien- und Hitzebeständigkeit auf. Optional sind auch ESD-Gegenmaßnahmen und Partikel-Gegenmaßnahmen erhältlich.

■Funktionen

・Sie können die Anzahl und Position der Luftlöcher ändern. ・Kann verzogene Wafer transportieren ・Unterdrückt die Bildung von Partikeln aufgrund des Kontakts mit der Führung ・Die Haltbarkeit wird durch die integrierte Hohlraumtechnologie verbessert, bei der kein Klebstoff zur Bildung von Strömungskanälen verwendet wird.

■Was ist eine Transporthand?

Wird verwendet, um Siliziumwafer mithilfe von Robotern in und aus Kassetten und Prozesskammern zu bewegen. Keramik wird verwendet, weil sie aufgrund ihrer hohen Festigkeit die Durchbiegung verringert, beständig gegen Umgebungen mit hohen Temperaturen ist und zur Lösung von Problemen wie Metallverunreinigung und Staubentwicklung eingesetzt wird.

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    Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®

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1 Modelle von Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®

Bild Teilenummer Preis (ohne Steuern) Material Zweck
Schwimmende Standardhand aus Keramik, Bernoulli-Hand, LeviZac®-Part Number-Bernoulli Hand LeviZac®

Bernoulli Hand LeviZac®

Auf Anfrage erhältlich

Aluminiumoxid

Für Wafertransport (Atmosphäre)

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