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Dieser Abschnitt bietet einen Überblick über Kompakte Vakuumpumpen sowie ihre Anwendungen und Funktionsweisen. Werfen Sie auch einen Blick auf die Liste der 7 Hersteller von Kompakte Vakuumpumpen und deren Firmenranking.
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Eine kompakte Vakuumpumpe ist eine kleine Pumpe, die Luft aus einem versiegelten Behälter absaugt, um im Inneren des Behälters ein Vakuum zu erzeugen.
Kompakte Vakuumpumpen haben oft ein Saugvermögen von etwa 200 l/min und erreichen Drücke zwischen 0,1 Pa und 10 Pa. Darüber hinaus werden sie häufig als Vorvakuumpumpen eingesetzt, um ein Hochvakuum zu erreichen, oder in verschiedenen analytischen und wissenschaftlichen Instrumenten, die unter Niedrigvakuumbedingungen betrieben werden können.
Es gibt verschiedene Typen, wie z. B. Ölkreiselpumpen, trockene Pumpen und Membranpumpen, die je nach Funktionsweise und Einsatzbedingungen ausgewählt werden können.
Kompakte Vakuumpumpen werden in Analyse- und Laborgeräten eingesetzt, die ein Vakuum von etwa 0,1 Pa oder ein noch höheres Vakuum benötigen. Kompakte Vakuumpumpen eignen sich beispielsweise ideal für Elektronenmikroskope, Röntgenanalyse, Massenspektrometrie und Gaschromatographie, die eine Vakuumumgebung erfordern.
In der Halbleiterfertigung ist eine Vakuumumgebung auch für die Herstellung dünner Schichten durch Sputtern, Vakuumverdampfung oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD) erforderlich. Kompakte Vakuumpumpen werden auch in der Lebensmittelverarbeitung für die Vakuumverpackung und -abfüllung eingesetzt.
Kompakte Vakuumpumpen können nach dem Pumpverfahren, dem Druckbereich und der Verwendung von Öl unterschieden werden.
Vakuumpumpen lassen sich nach ihrem Pumpverfahren einteilen: gasfördernde Vakuumpumpen und gasakkumulierende Vakuumpumpen. Gasfördernde Vakuumpumpen fördern Luft von der Ansaugseite zur Auslassseite.
Eine gasakkumulierende Vakuumpumpe sammelt die abzusaugende Luft in der Pumpe und saugt die angesammelte Luft dann mit einer anderen Vakuumpumpe ab.
Eine einzelne Vakuumpumpe kann den Druckbereich vom Atmosphärendruck bis zum Hochvakuum nicht abdecken. In der Regel wird zusätzlich zur Hauptpumpe für das Hochvakuum eine Hilfspumpe oder eine Vorvakuumpumpe eingesetzt.
Es gibt zwei Arten von Vakuumpumpen: trockene Vakuumpumpen, die kein Öl verwenden, und nasse Vakuumpumpen, die Öl verwenden. Die Vakuumbereiche, die von ölbetriebenen Pumpen erzeugt werden, enthalten Öl- oder Wasserdampf, der von der Pumpe selbst erzeugt wird.
Trockene Vakuumpumpen werden vor allem bei der Herstellung von Halbleitern benötigt, wo eine genaue Kontrolle erforderlich ist. Sie werden auch bei der Herstellung von Lebensmitteln und Arzneimitteln eingesetzt, wo Öl nicht bevorzugt wird.
Von den verschiedenen Arten von Vakuumpumpen ist die Öl-Vakuumpumpe die am häufigsten verwendete in Bezug auf Verdrängungsvolumen, erreichbaren Druck und Preis. Dieser Typ ist je nach Pumpentyp in vielen Varianten erhältlich und wird als Rotationstyp bezeichnet.
Das Öl dient zur Schmierung der Lager und zur Verbesserung der Abdichtung im Zylinder. Ölgedichtete Rotationsvakuumpumpen gibt es als Drehflügel-, Nocken- und Schwingkolbenpumpen; mit diesen Pumpen lässt sich ein mittleres Vakuum von etwa 0,1 Pa leicht erreichen.
Bei der Drehschieber-Vakuumpumpe sind die Schaufeln an einem in den Innenzylinder eingebauten Rotor befestigt. Das Gas in den kleinen Kammern, die durch die Schaufeln unterteilt sind, wird bei der Drehung des Rotors ausgestoßen, wodurch der Druck reduziert wird.
Bei der Nockenpumpe dreht sich ein Teil des exzentrischen Rotors, der in der Mitte des zylindrischen Stators angebracht ist, in Kontakt mit dem Stator. Das Gas, das sich im Raum zwischen Stator und Rotor befindet, wird zum Druckabbau abgeleitet.
Bei der Pendelkolbenpumpe wird der Kolben durch die Drehung des exzentrischen Rotors auf und ab bewegt. Die Luft im Zylinder wird durch den Kolben komprimiert und ausgestoßen, um den Druck zu verringern.
Trockene Pumpen sind berührungslose, saubere Vakuumpumpen, die weder Öl noch Flüssigkeiten verwenden. Je nach Art der Pumpe gibt es viele verschiedene Typen:
Diese Pumpen verwenden einen Roots-Rotor. Sie benötigen kein Kühlwasser und zeichnen sich durch hohen Komfort aus.
Diese Pumpe hat eine Struktur, bei der sich die Spirale dreht, um ein Vakuum zu erzeugen, indem sie Luft von außen nach innen verdichtet und ausstößt. Sie ist kompakt und hat die Vorteile eines hohen Vakuums, geringer Vibrationen, geringer Geräuschentwicklung und Energieeinsparung.
Das Vakuum wird durch zwei klauenförmige Rotoren erzeugt, die sich in entgegengesetzter Richtung drehen.
Ein hin- und hergehender Kolben, die sogenannte Pumpenwelle, bewegt die Membran auf und ab und saugt dabei Luft an und bläst sie aus.
Es gibt Typen mit rotierenden Schaufeln und oszillierenden Kolben. Diese Vakuumpumpen ähneln im Aufbau den Ölkreiselpumpen.
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Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen - All-in-One-Design, das standardmäßig mit Messgeräten und Anschlüssen geliefert wird und den einfachen Anschluss an einen Vakuumexsikk...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
- All-in-One-Typ, ausgestattet mit einem analogen Vakuummeter (mbar-Anzeige) und einem Durchflussmengen-Einstellventil. - Kommt mit einer 3-jährige...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen - Geeignet für viele Anwendungen wie Verdampfer, Filtration, Entgasung/Entschäumung, Vakuumtrocknung usw. - Hat eine ausgezeichnete che...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen ・Ölfrei und kontaminationsfrei, verunreinigt das verarbeitete Gas nicht. ・Verfügt über das CE-Zeichen.
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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-Wirtschaftliche 1-stufige Öl-Rotationsvakuumpumpe. - Kompakt und handlich, mit Griff zum einfachen Tragen. -Der Einlassanschluss ist ein 6-mm-Schl...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen ・VP-225/235/245 verwendet eine einzigartige H-Strukturbasis, um eine Achsenfehlausrichtung zu verhindern. ・VP-235/245 sind für geräus...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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・Dies ist eine zweistufige Ölrotationspumpe vom Hochvakuumtyp, bei der Zuverlässigkeit und Haltbarkeit im Vordergrund stehen. ・Optional kann ein ...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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・Optional kann ein Ölnebelband angeschlossen werden. ■Das erzwungene Ölzirkulationssystem ermöglicht einen stabilen Betrieb. 1. Wird mit einem Ga...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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- Eine leise zweistufige Öl-Rotationsvakuumpumpe, die einen Gleichstrommotor verwendet. - Das erzwungene Ölzirkulationssystem sorgt für einen stabi...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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Geringe Vibration und geringe Geräuschentwicklung. ■KF25-Ansaugadapter ・Ein Adapter zum Umrüsten des KF-25-Ansaugrohrs auf ein M20-Innengewinde. ...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen ・Geringe Geräuschentwicklung und geringe Vibration. ・Riemenlos und direkt mit dem Motor verbunden, wodurch es leicht in Geräte integr...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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■Funktionen - Typ mit geringem Abgasgeräusch. - Verwendet eine Magnetkupplung, um ein Austreten von Öl zu verhindern.
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen ・Die GCD-Serie ist eine starke korrosionsbeständige Vakuumpumpe, die bei der GLD-Serie einer speziellen Oberflächenbehandlung unterzog...
Yagyu Shokai Co., Ltd.
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5.0 Company Review
■Funktionen - Der TSW-Typ verfügt über einen vertikalen Winkelrahmen mit Rollen und ist fahrbar. ・Der BSW-Typ deckt den TSW-Typ mit einer Box ab. ...
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