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Dieser Abschnitt bietet einen Überblick über Positioniertische sowie ihre Anwendungen und Funktionsweisen. Werfen Sie auch einen Blick auf die Liste der 6 Hersteller von Positioniertische und deren Firmenranking.
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Ein Positioniertisch ist eine Plattform, auf der eine Positionierung möglich ist.
Der Positioniertisch ist der bewegliche Teil, der oft aus einer Kombination von Motoren und Kugelumlaufspindeln usw. besteht. Positioniertische sind in der Lage, eine genaue Positionierung vorzunehmen.
Sie werden in einer Vielzahl von Anwendungen im Bereich der Präzisionsbearbeitung eingesetzt, z. B. bei der Herstellung und Prüfung von Halbleitern und Display-Produkten. xy-Tische werden in Anwendungen eingesetzt, die die Eigenschaften des Tischtyps nutzen wie z. B. die Möglichkeit der freien Bewegung in zwei Dimensionen.
Positioniertische werden für die Positionierung im Bereich der Präzisionsgeräte eingesetzt. Zu den spezifischen Anwendungen gehören Inspektions- und Verarbeitungsgeräte, Belichtungs- und Hochpräzisionsinspektionsgeräte sowie die Hochgeschwindigkeitspositionierung von Wafern und Substraten in den Bereichen Halbleiter und Leiterplatten.
Sie werden auch für LCD-Inspektionsgeräte, laserbezogene Geräte, Substrattransfer- und Präzisionsinspektionsgeräte, hochpräzise Positionierung von Substraten und Bearbeitungsköpfen, Kamera- und Faserausrichtung sowie Probeninspektions- und Analysevorrichtungen verwendet. Durch das präzise Anfahren der Zielposition in Auflösungseinheiten können definierte Bearbeitungen, Inspektionen und Transfers durchgeführt werden.
Zu den Positioniervorrichtungen gehören der anzutreibende Aktuator, die Steuereinheit, die die Signale für den Betrieb des Aktuators steuert und der Versteller, der das bewegte Objekt darstellt, ein Tisch als bewegliches Objekt und Führungen, die den Tisch unterstützen. Um Hochgeschwindigkeitsarbeiten bei gleichbleibend hoher Genauigkeit zu ermöglichen, müssen die Eigenschaften und Steuerfunktionen so verbessert werden, dass Vibrationen usw. des beweglichen Objekts, des Positioniertisches, reduziert werden.
Regelungsmethoden wie die Regelung, die Steuerung und die halbgeschlossene Regelung werden eingesetzt, um die Bewegungsfehler des Tisches zu messen und die Teile in die Zielposition zu bringen. Dabei wird das Abbe-Prinzip genutzt, um den Messfehler zu reduzieren. Das Abbe'sche Prinzip besagt, dass zur Erhöhung der Messgenauigkeit das zu messende Objekt und der Maßstab des Messgerätes in Messrichtung auf einer Linie liegen müssen.
Zu den Positioniertischen gehören einachsige, zweiachsige orthogonale, dreiachsige orthogonale, rotierende und kombinierte Typen.
Der 1-Achsen-Typ ist die einfachste Konfiguration und kann sich nur in der x1-Richtung bewegen. Der orthogonale 2-Achsen-Typ kann sich in xy2 oder in x- und z-Richtung bewegen.
Der orthogonale 3-Achsen-Typ kann sich in der horizontalen xy2-Richtung und in der vertikalen z-Richtung bewegen und hat eine komplexere Struktur.
Der Rotationstyp kann nur eine Rotationsbewegung θ ausführen. Zu den Kombinationstypen gehören die Typen x-θ, z-θ und xy-θ, die den Drehtyp um eine oder zwei Bewegungsachsen erweitern.
Diese wird häufig in Kombination mit einem Drehmotor verwendet. Die Kugel zirkuliert in der Gewindenut, was die Reibung im Vergleich zu Gleitspindeln deutlich verringert und eine leichtere Bewegung ermöglicht.
Linearführungen stützen den Tisch. Es gibt viele Arten, darunter Schwalbenschwanznuten, Kreuzrollen, Rollenbahnen, Kugelbahnen, Kugelbuchsen und Drehlager.
Es muss ein System mit ausgezeichneter Bewegungsgenauigkeit, hoher Tragfähigkeit und hoher Steifigkeit gewählt werden.
Für die Steuerung von Positioniertischen werden offene, halbgeschlossene und vollständig geschlossene Regelsysteme verwendet.
Es gibt zwei Methoden für Positioniertische: intermittierende und kontinuierliche Positionierung. Bei der intermittierenden Positionierung wird von einem bestimmten Punkt aus gestartet und am Zielpunkt angehalten, unabhängig von Weg und Zeit.
Die kontinuierliche Positionierungsmethode hält am Zielpunkt an und misst den Weg und die Zeit während der Fahrt.
Rotations- und Linearmotoren sind die Hauptantriebe für Positioniertische. Es werden auch piezoelektrische Elemente verwendet. Pneumatische und hydraulische Verfahren sind weniger verbreitet.
Rotationsmotoren
Rotationsmotoren werden häufig in Kombination mit Servomotoren und Kugelumlaufspindeln eingesetzt.
Linearmotoren
Linearmotoren haben eine Reihe von Vorteilen, insbesondere, dass sie mit hohen Geschwindigkeiten arbeiten können, keine Verschmutzungsprobleme haben, einfach aufgebaut sind und weniger Geräusche verursachen.
Darüber hinaus kann die Steifigkeit erhöht werden. Der Nachteil ist jedoch, dass eine Positionserfassung des Tisches erforderlich ist, was die Kosten erhöht. Darüber hinaus können aufgrund der hohen Wärmeentwicklung Kühlsysteme erforderlich sein.
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