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Dieser Abschnitt bietet einen Überblick über Plasma-Ausrüstung sowie ihre Anwendungen und Funktionsweisen. Werfen Sie auch einen Blick auf die Liste der 3 Hersteller von Plasma-Ausrüstung und deren Firmenranking.
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Eine Plasmaanlage ist ein Hochleistungsgerät, das Plasma auf die Oberfläche eines Materials strahlt, um Aufgaben wie Reinigung, Sterilisation und Beschichtung zu erfüllen.
Plasma ist ein spezieller gasförmiger Zustand, der geladene Teilchen enthält, die durch Energiezufuhr zu einem Gas erzeugt werden, und zeichnet sich durch seine extrem hohe Reaktivität mit Molekülen aus. Die Wirksamkeit von Plasmaanlage hängt von der Art des verwendeten Gases und der Methode der Plasmaerzeugung ab.
Die Plasmabehandlung von Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff beispielsweise hat eine reinigende und sterilisierende Wirkung auf die Oberfläche von Materialien. Andererseits kann die Plasmabehandlung von Gasen wie Silizium und Fluor eine Beschichtung auf der Oberfläche des Materials bilden.
Beim Einsatz von Plasmaanlagen ist es wichtig, die richtigen Geräte für den jeweiligen Zweck und die jeweilige Anwendung auszuwählen. In der Medizintechnik und der Lebensmittelindustrie sollte der Schwerpunkt beispielsweise auf der Reinigung und Sterilisation liegen, während in Bereichen, in denen Verschleißfestigkeit und chemische Beständigkeit erforderlich sind, der Schwerpunkt auf der Beschichtungsleistung liegen sollte.
Plasmaanlagen nutzen Plasmen mit hoher Energie und Reaktivität und werden in verschiedenen industriellen Bereichen eingesetzt. Sie werden in einem breiten Spektrum von Anwendungen eingesetzt und sind in einer Vielzahl von Situationen nützlich, von Bereichen, die fortschrittliche Technologie erfordern, bis hin zu Umwelt- und Hygieneaspekten.
Die Reinigungs-, Filmbildungs- und Ätzfähigkeiten von Plasmaanlagen sind besonders nützlich bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen und anderen Präzisionsgeräten. Auf diese Weise werden Produkte schnell und in hoher Qualität hergestellt, was zur Entwicklung von Spitzentechnologien beiträgt.
Plasmaanlagen können auch zur Entgiftung von Industrieabfällen eingesetzt werden. Sie können gefährliche Stoffe zersetzen und ihre Auswirkungen auf die Umwelt minimieren. Darüber hinaus werden sie auch zur Desinfektion und Sterilisation von Lebensmitteln und Chemikalien eingesetzt und tragen so zur Verbesserung der Sicherheit bei.
Wenn die Temperatur eines Stoffes steigt, ändert sich sein Zustand von fest zu flüssig und von flüssig zu gasförmig. Wenn die Temperatur eines Gases ansteigt, trennen sich die Elektronen in den Atomen in positive Ionen und Elektronen. Dieses Phänomen wird als Ionisierung bezeichnet, und der energetische Zustand des Gases, der durch die Ionisierung entsteht, ist ein Plasma.
Es gibt zwei Haupttypen von Plasmaanlagen: Atmosphärendruck-Plasmaanlagen und Niederdruck-Plasmaanlagen.
Wie der Name schon sagt, erzeugen Plasmaanlagen mit Atmosphärendruck Plasma unter Atmosphärendruck. Das Plasma wird erzeugt, indem Edelgase oder Sauerstoff durch Elektroden geleitet werden, an die eine Hochspannung angelegt wird.
Eine Vakuumumgebung ist nicht erforderlich, und die Ionendichte ist höher als bei Niederdruckplasmen. Der Nachteil ist jedoch, dass sich das Objekt so nahe wie möglich an der Bestrahlungsposition befinden muss.
Niederdruck-Plasmaanlagen erzeugen Plasma in einer Vakuumumgebung. Die Verwendung ist auf eine Vakuumumgebung beschränkt, aber es ist kein Gas erforderlich. Die Anlage kann auch in einem gewissen Abstand zum Objekt bestrahlt werden, so dass man sich keine Gedanken über den Aufstellungsort der Anlage machen muss.
Die Plasmatechnik wird hauptsächlich in Verbindung mit Vakuumkammern, Elektrodengeräten und Gasversorgungsanlagen eingesetzt.
1. Vakuumkammer
Die meisten Plasmaprozesse finden in einer Vakuumkammer statt. In der Vakuumkammer wird eine geeignete Umgebung für die Plasmaerzeugung geschaffen, indem die externen Gase abgeschaltet und die Kammer mit einem bestimmten Gas gefüllt wird.
Das in der Vakuumkammer erzeugte Plasma kann zum Reinigen, Ätzen, Beschichten und für andere Prozesse verwendet werden.
2. Elektrodensystem
Plasma wird durch Anlegen elektromagnetischer Wellen oder eines elektrischen Feldes an ein Gas erzeugt. Elektrodenanlagen, die in Verbindung mit Plasmaanlagen eingesetzt werden, spielen daher eine wichtige Rolle.
Elektrodengeräte versorgen das Gas mit der entsprechenden Energie und erleichtern die Plasmaerzeugung. Form und Anordnung des Elektrodengeräts beeinflussen die Eigenschaften des erzeugten Plasmas und die Verarbeitungsmethode, so dass es wichtig ist, das geeignete Elektrodengerät auszuwählen.
3. Ausrüstung für die Gasversorgung
In Plasmaanlagen werden verschiedene Gase verwendet. Die Gasversorgungsanlage liefert die erforderlichen Gase in der Vakuumkammer mit der geeigneten Durchflussmenge und dem richtigen Druck. Die Genauigkeit der Gasversorgungsanlage wirkt sich direkt auf die Qualität der Plasmabehandlung aus, da die Art des Plasmas und die Reaktionsgeschwindigkeit von der Art und Menge des zugeführten Gases abhängen.
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